METODO PARA PREPARAR UNA PANTALLA PARA REDUCIR PARTICULAS EN UNA CAMARA DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO.

EN UN METODO PARA PREPARA UNA PANTALLA (17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16) PREVIO AL USO EN UN PROCESO DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO, LA PANTALLA

(17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16) SE INYECTA PRIMERO EN ESCORIA UTILIZANDO UN POLVO ABRASIVO, A CONTINUACION SE TRATA EN UNA CAMARA DE LIMPIEZA ULTRASONICA PARA ELIMINAR PARTICULAS SUELTAS Y DESPUES UN CHISPORROTEADO CON ACIDO O TRATATO CON UN PLASMA. EL CHISPORROTEO O EL TRATAMIENTO DE PLASMA SIRVE A SOLTAR CONTAMINACION QUE PUEDE FORMAR UNA BARRERA DE DIFUSION Y PREVENIR LOS DEPOSITOS A PARTIR DE EL ENLACE DE LA PANTALLA (17) Y TAMBIEN SIRVE PARA HACER ASPERA LA SUPERFICIE DE LA PANTALLA (17) Y/O EL ANILLO DE APRIETE (16), PARA REDUCIR LOS VACIOS DE INTERFASE Y MEJORAR LA ADHESION DE MATERIA CHISPORROTEADO SOBRE LA PANTALLA (17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16). LOS PROCESOS DE LA INVENCION DA COMO RESULTADO UNA LIMPIEZA MEJORADA DE LA PANTALLA (17) Y/O EL ANILLO DE APRIETE (16) Y UNA ADHESION MEJORADA MATERIAL CHISPORROTEADO SOBRE ESTOS, CON LO QUE SE INCREMENTA EL TIEMPO ANTES DE QUE LA PANTALLA/ANILLO DE APRIETE DEBEN SER LIMPIADO Y SE REDUCE EL TIEMPO DE LA CAMARA DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO (14).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: P.O. BOX 58039 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA CALIFORNIA 95052-8.

Inventor/es: .

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 9 de Octubre de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/56 (Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/02 (Pretratamiento del material a revestir (C23C 14/04 tiene prioridad))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > C23C14/00 (Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00))
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > LIMPIEZA > LIMPIEZA EN GENERAL; PREVENCION DE LA SUCIEDAD EN... > Limpieza por métodos no previstos en una sola subclase... > B08B7/04 (por una combinación de operaciones)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))
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