FUENTE DE IONES CON ENERGIA DE MICROONDAS PARA IMPLANTACION DE IONES.
UN APARATO DE FUENTE DE IONES CON ENERGIA DE MICROONDAS (12) ESTA SOPORTADO POR UN TUBO DE SOPORTE (94) QUE SE EXTIENDE EN UNA CAVIDAD (57) DEFINIDA POR UN CONJUNTO DE ALOJAMIENTO (22) E INCLUYE UNA CAMARA DE PLASMA DIELECTRICA (42),
UN PAR DE VAPORIZADORES (44), UN ENSAMBLAJE DE SINTONIZACION Y TRANSMISION DE MICROONDAS (40) Y UN ENSAMBLAJE DE GENERACION DE CAMPO MAGNETICO (46). LA CAMARA (42) DEFINE UNA REGION INTERIOR (50) EN LA QUE SE DIRIGEN EL MATERIAL DE ORIGEN Y GAS IONIZABLE. LA CAMARA (42) ESTA APOYADA POR UNA TAPA (62) QUE TIENE UNA RANURA EN ARCO (64) A TRAVES DE LA CUAL LOS IONES GENERADOS SALEN DE LA CAMARA (42). EL ENSAMBLAJE DE SINTONIZACION Y TRANSMISION DE MICROONDAS (40), QUE ALIMENTA ENERGIA DE MICROONDA A LA CAMARA (42) EN EL MODO TEM, INCLUYE UN CONDUCTOR CENTRAL DE LINEA DE TRANSMISION DE ENERGIA DE MICROONDA COAXIAL (54). UN EXTREMO (66) DEL CONDUCTOR (54) AJUSTA EN UNA PARTE AHUECADA (68) DE LA CAMARA (42) Y TRANSMITE ENERGIA DE MICROONDA A LA CAMARA (42). EL CONDUCTOR CENTRAL (54) SE EXTIENDE A TRAVES DE UNA PARTE DESOCUPADA DEL TUBO COAXIAL (56) QUE RODEA AL CONDUCTOR (54). UN CIERRE AL VACIO (58) ESTA DISPUESTO EN O JUNTO AL TUBO COAXIAL (56) Y DESDE EL EXTREMO ENTRE EL TUBO COAXIAL DESOCUPADA (56) Y UNA REGION NO DESOCUPADA.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE,CLEVELAND, OHIO 44114-2584.
Inventor/es: ROSE, PETER, SFERLAZZO, PIERO, TRUEIRA, FRANK RAYMOND.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 13 de Enero de 1999.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J27/18 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 27/00 Tubos de haz iónico (H01J 25/00, H01J 33/00, H01J 37/00 tienen prioridad; aceleradores de partículas H05H). › con un campo magnético axial aplicado.
- H01J37/32 H01J […] › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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