ESTRUCTURA PARA LA ALINEACION DE UNA ABERTURA DE FUENTE DE IONES CON UN PASO DE HAZ DE IONES PREFIJADO.

SE PRESENTA UNA ESTRUCTURA Y UN METODO PARA POSICIONAR EXACTAMENTE Y ALINEAR UNA ABERTURA DE UN MIEMBRO DE EXTRACCION (78) Y UN HUECO DE UN ELECTRODO DE EXTRACCION (140) CON UNA LINEA DE HAZ PREDETERMINADA EN UN APARATO PARA LA IMPLANTACION DE IONES (10).

LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION SE POSICIONA CON RESPECTO AL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE DEL HAZ DE IONES (44) ELIMINANDO DE ESTA FORMA LOS ERRORES ACUMULATIVOS DE TOLERANCIA QUE INUNDAN LOS APARATOS DE IMPLANTACIONES DE IONES CONOCIDOS HASTA EL MOMENTO. SE UTILIZA UNA FIJACION DE ALINEAMIENTO SEPARABLE (90) EN CONJUNCION CON UN DISPOSITIVO DE AGARRE AUTOCENTRABLE (92) PARA POSICIONAR EXACTAMENTE LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION EN ALINEAMIENTO CON LA LINEA PREDETERMINADA DEL HAZ. EL MIEMBRO DE EXTRACCION SE FIJA A UN ANILLO DE SOPORTE (94) DEL DISPOSITIVO DE AGARRE Y EL DISPOSITIVO DE AGARRE SE MONTA EN LA FIJACION DE ALINEAMIENTO. LA FIJACION DE ALINEAMIENTO SE MONTA EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE DE FORMA PRECISA ALINEANDO LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION CON UNA LINEA PREDETERMINADA DEL HAZ. LA ARANDELA DIVIDIDA (107) DEL DISPOSITIVO DE AGARRE SE FIJA A UN TUBO DE SOPORTE (80) RODEANDO LA CAMARA DEL ARCO DE GENERACION DE IONES (18). DESDE EL MOMENTO QUE EL DISPOSITIVO DE AGARRE ES AUTOCENTRABLE, NO SE COMPROMETE EL ALINEAMIENTO DE LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION. ENTONCES, SE QUITA LA FIJACION DE ALINEAMIENTO. DESPUES DE QUITAR LA FIJACION DE ALINEAMIENTO, SE ASEGURA UN DISPOSITIVO DE ELECTRODO DE EXTRACCION DE HUECO VARIABLE (130) EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE. SE UTILIZA UNA FIJACION DE FABRICACION DURANTE LA FABRICACION Y EL MONTAJE DEL DISPOSITIVO DE ELECTRODO DE EXTRACCION PARA ASEGURAR QUE EL HUECO DE EXTRACCION ESTE ALINEADO CON UNA LINEA DE HAZ PREDETERMINADA CUANDO SE MONTA EL DISPOSITIVO DEL ELECTRODO DE EXTRACCION EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: EATON CORPORATION.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE,CLEVELAND, OHIO 44114-2584.

Inventor/es: TRUEIRA, FRANK RAYMOND.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 11 de Agosto de 1999.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/08 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Fuente de iones; Cañón iónico.
  • H01J37/317 H01J 37/00 […] › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).

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