EQUIPO DE MEDICION INTERFEROMETRICO.
Dispositivo para un equipo de medición interferométrico (1) con un primer interferómetro (10),
un segundo interferómetro (20), una fuente de radiación (30) y un primer divisor de haz (11.1), asimismo, al primer interferómetro (10) le es suministrada una radiación coherente corta (31) a través de la fuente de radiación (30), dicha radiación es dividida en dos haces parciales (32.1, 32.2) a través del primer divisor de haz (11.1), asimismo, la longitud de recorrido óptico en un haz parcial (32.1, 32.2) es más larga que en el otro haz parcial (32.1, 32.2), a fin de que la diferencia de trayectorias ópticas sea mayor que la longitud de coherencia de la radiación (31), asimismo, ambos haces parciales (32.1, 32.2) son reunidos nuevamente antes de la salida del primer interferómetro (10) y son suministrados al segundo interferómetro (20), que separa la radiación en otros dos haces parciales (35.1, 35.2), asimismo, la longitud de recorrido óptico de ambos haces parciales (35.1, 35.2) es diferente, a fin de que se compense la diferencia de trayectorias ópticas inscrita en el primer interferómetro (10), caracterizado porque la longitud de recorrido óptico para, respectivamente, un haz parcial (32.1, 35.1), se puede ajustar en el primer y en el segundo interferómetro (10, 20) a través de, al menos, un elemento constructivo óptico desplazable (13, 23, 50, 60) que pertenece al dispositivo y porque los elementos constructivos ópticos desplazables (13, 23, 50, 60) están acoplados mecánicamente entre sí.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ROBERT BOSCH GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: POSTFACH 30 02 20,70442 STUTTGART.
Inventor/es: FRANZ,STEFAN, FLEISCHER,MATTHIAS.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 29 de Abril de 2009.
Clasificación PCT:
- G01B9/02 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.
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