Cámara de vacío en una base estructural para instalaciones de revestimiento.

Cámara de vacío para instalaciones de revestimiento, en la que se disponen elementos funcionales en la cámara,

donde la cámara comprende una armadura de cámara y planchas de inserción implantadas de modo mecánicamente separable y estanco en la armadura y algunas de las planchas de inserción llevan elementos funcionales, caracterizada por que la armadura de la cámara incluye por lo menos una base provista de brazos, conformada en una plancha metálica de una pieza, donde los brazos se han doblado en la región de la unión a la base de tal modo que formen los pilares de la armadura de la cámara.

Cïmara de vacïo en una base estructural para instalaciones de revestimiento La presente invenciïn se refiere a una cïmara de vacïo. La invenciïn se refiere, en especial, a una cïmara de vacïo para instalaciones de revestimiento.

Los procedimientos de revestimiento conocidos como PVD o CVD designan, por ejemplo, procedimientos de revestimiento en condiciones de vacïo. En el caso del PVD (physical vapor deposition) , el proceso de revestimiento se basa esencialmente en una precipitaciïn fïsica de material sobre una pieza bruta a revestir. En el caso del CVD (chemical vapor deposition) , el proceso de revestimiento se basa esencialmente en reacciones quïmicas. Es comïn a ambos procedimientos que se realicen frecuentemente en condiciones de alto vacïo (HV, de 10-3 mbar a 10-7 mbar) o en condiciones de vacïo ultraelevado (UHV, de 10-7 mbar a 10-12 mbar) . En el marco de la presente invenciïn, debe designarse como vacïo el estado de un fluido en un volumen con una presiïn, que sea menor que 10-1 mbar.

Para generar un vacïo, se absorbe, por lo general, por bombeo un fluido de una cïmara cerrada de forma estanca. La cïmara se fabrica, tïpicamente, a partir de un cuerpo de cïmara de una pieza, la mayorïa de las veces de acero inoxidable. Esto es para evitar posibles fugas y generar un buen vacïo.

En el documento DE 9404022 U, se aborda el problema de que, en de tales cïmaras habituales hechas a partir de un cuerpo de cïmara de una pieza, cada modificaciïn a acometer va ligada a un mayor gasto (separaciïn, soldadura, etc.) . El documento DE 9404022 U revela las caracterïsticas segïn el preïmbulo de la reivindicaciïn 1. Por ello, se propone en el mismo no fabricar de una pieza la cïmara de vacïo desde el principio, sino subdividir los niveles operacionales (objetivo, nivel de fuentes, nivel de bombeo) en zonas unidas por bridas. Ademïs, los cierres superior e inferior podrïan realizarse para ampliaciones posteriores con tapas unidas por bridas.

Este mïtodo de dividir la cïmara en zonas unidas por bridas tiene ciertamente la ventaja de de la flexibilidad incrementada con respecto a las modificaciones a emprender, pero finalmente esto da lugar a que, con cada nueva modificaciïn, se haya de calcular, sin embargo, de nuevo la estïtica para asegurar que la cïmara, constituida por partes unidas por bridas, presenta la estabilidad requerida para resistir las fuerzas unidas a las diferencias de presiïn (interior de la cïmara en comparaciïn con el espacio exterior) .

Existe, por ello, una necesidad de una cïmara de vacïo, en la que se puedan acometer de modo mïs sencillo y flexible modificaciones con respecto a los elementos funcionales, aunque, al mismo tiempo, estï diseïada de modo que se garantice una suficiente estabilidad de la cïmara independientemente de cïmo se hayan dispuesto concretamente los elementos funcionales.

Se le plantea, por tanto, a la invenciïn la misiïn de satisfacer dicha necesidad, es decir, de proporcionar una cïmara de vacïo, en la que se puedan acometer de modo mïs sencillo y flexible modificaciones en relaciïn con los elementos funcionales, pero que, al mismo tiempo, se diseïe de tal modo que se garantice una estabilidad suficiente independientemente de cïmo se dispongan concretamente los elementos funcionales.

Segïn la invenciïn, se satisface la misiïn de modo que la cïmara se realice como construcciïn de armadura, en la que se instalen planchas de inserciïn. La armadura forma un armazïn estable para la cïmara. En las planchas de inserciïn, pueden preinstalarse equipos auxiliares y aparatos de montaje como, por ejemplo, bombas, objetivos o fuentes. Las planchas de inserciïn se unen mecïnicamente y estancas al vacïo con la armadura. Para fabricar varias cïmaras de vacïo diferentes, se pueden normalizar, para ello, armaduras como mïdulo en gran nïmero y, con ello, fabricarse con bajos costes. En caso de requerimientos especïficos del cliente, no debe tratarse mïs la armadura en absoluto, ya que especificaciones del cliente pueden tenerse en cuenta completamente por medio de la adaptaciïn de las planchas de inserciïn. Los elementos funcionales previstos en las mismas como, por ejemplo, objetivo, fuente o bomba de vacïo, pero tambiïn, por ejemplo, ventanilla de observaciïn pueden disponerse de manera diferente unas respecto de otras de cïmara en cïmara. Puesto que la armadura de la cïmara proporciona la estabilidad necesaria, no bebe calcularse, cada vez, nuevamente la estïtica de la cïmara para una variaciïn semejante.

La invenciïn se explicarï, a continuaciïn, con mayor precisiïn a base de ejemplos y con ayuda de figuras. Las figuras muestran:

Figura 1 muestra la armadura de una cïmara de vacïo segïn la invenciïn.

Figura 2 muestra una cïmara de vacïo segïn la invenciïn con armadura segïn la figura 1 y planchas de inserciïn montadas.

Figura 3 muestra la cïmara segïn la figura 2 con puerta ligeramente abierta.

Figura 4a muestra una parte de la zona interior de una cïmara de vacïo segïn la invenciïn.

Figura 4b muestra la parte correspondiente a la figura 4a vista por fuera.

Figura 5a muestra la vista frontal de una secciïn de la armadura de una cïmara de vacïo segïn la invenciïn.

Figura 5b muestra la secciïn transversal de la secciïn correspondiente a la figura 5a.

Figura 5c muestra la vista frontal de una plancha de inserciïn de una cïmara segïn la invenciïn.

Figura 5d muestra la secciïn transversal correspondiente a la figura 5c.

Figura 5e muestra una vista en perspectiva de la secciïn de armadura y de la plancha de inserciïn de la secciïn representada en las figuras 5a a 5d.

Figuras 6a muestra esquemïticamente una forma plana separada de una plancha de material, que se ha de plegar para formar un componente de la armadura.

Figura 6b muestra la plancha de material de la figura 6a, habiïndose plegado ya dos de los brazos hacia arriba para formar nervios.

Figura 6c muestra la tapa con la cual se une la plancha de material de la figura 6b.

Figura 7 muestra una parte del perfil de la armadura en una forma de realizaciïn, que permite una colocaciïn centrada, sencilla de la plancha de inserciïn conservando, a pesar de todo, la estabilidad.

Figura 8a muestra una plancha metïlica con aberturas, la cual puede plegarse, y que puede formar parte del cuerpo de la armadura de la cïmara.

Figura 8b muestra una plancha metïlica con aberturas que puede plegarse y puede formar parte de la puerta de la armadura de la cïmara.

Figura 9 muestra los perfiles de las planchas metïlicas mostradas en las figuras 8a y 8b y cïmo se pueden plegar para formar el cuerpo de la armadura.

Figura 10 muestra una parte del perfil de la armadura en una forma de realizaciïn, que permite una colocaciïn centrada, sencilla de la plancha de inserciïn manteniendo, a pesar de todo, la estabilidad.

En el ejemplo mostrado en la figura 1, se trata de un prisma regular, cuya base es un octïgono regular. En este caso, se puede hablar de una armadura, porque se ha previsto en el cuerpo del prisma ïnicamente material en la zona de las aristas del cuerpo y dicho material se ha previsto como nervios de uniïn. Los nervios de uniïn unen las bases del prisma. La armadura estï en disposiciïn de absorber y soportar esfuerzos de tracciïn, compresiïn y tambiïn de flexiïn, tal como se presentan en cïmaras de vacïo, por ejemplo, al hacer el vacïo. Esfuerzos adicionales pueden tener su origen en un plato horizontal cargado, un esfuerzo por transporte de la cïmara, por ejemplo, ojales de suspensiïn de grïa. Debido a la construcciïn de la armadura, se producen aberturas de gran superficie en las que, como muestra la figura 2, se pueden instalar planchas 5 de inserciïn. Segïn la figura 1, se han previsto adicionalmente aberturas de gran superficie en las bases. Tambiïn se pueden instalar en ellas planchas 7 de inserciïn. Tambiïn se ha representado esto en la figura 2, que muestra una forma de realizaciïn de una cïmara de vacïo completa segïn la invenciïn. En la figura 2, se ha aludido ïnicamente a que la cïmara de vacïo comprende una puerta abatible. Desviïndose de este ejemplo, tambiïn son posibles varias puertas. Se ha representado una cïmara de vacïo segïn la invenciïn con la puerta abierta en la figura 3. Una puerta semejante posibilita, por un lado, la dotaciïn de la cïmara con piezas a trabajar, que se han de someter a un tratamiento por vacïo. No obstante, resulta relevante en relaciïn con la presente invenciïn que la puerta posibilita montar las planchas de inserciïn desde fuera y fijarlas a la armadura por dentro.

La figura 4a muestra, segïn ello, una... [Seguir leyendo]

1. Cïmara de vacïo para instalaciones de revestimiento, en la que se disponen elementos funcionales en la cïmara, donde la cïmara comprende una armadura de cïmara y planchas de inserciïn implantadas de modo mecïnicamente separable y estanco en la armadura y algunas de las planchas de inserciïn llevan elementos funcionales, caracterizada por que la armadura de la cïmara incluye por lo menos una base provista de brazos, conformada en una plancha metïlica de una pieza, donde los brazos se han doblado en la regiïn de la uniïn a la base de tal modo que formen los pilares de la armadura de la cïmara.

2. Cïmara de vacïo segïn la reivindicaciïn 1, caracterizada por que la superficie del volumen contenido por la cïmara estï delimitado por las planchas de inserciïn por lo menos en un 40%, preferiblemente por lo menos en un 10 50%.

3. Cïmara de vacïo segïn una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada por que los elementos funcionales y las planchas de inserciïn estïn unidas separablemente con uniones por bridas, preferiblemente por medio de garras previstas en las planchas de inserciïn.

4. Cïmara de vacïo segïn una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada por que las por lo menos

dos aberturas, preferiblemente varias, formadas a travïs de la armadura tienen bïsicamente la misma forma geomïtrica y por ello por lo menos dos planchas de inserciïn, preferiblemente varias, pueden intercambiarse por separaciïn y fijaciïn mecïnicas en su posiciïn.

5. Cïmara de vacïo segïn una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada por que las planchas de inserciïn son planchas planas por lo menos en la regiïn de uniïn.

6. Cïmara de vacïo segïn una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada por que la armadura presenta bïsicamente una simetrïa cïclica de orden n con respecto a un eje, donde n es un nïmero entero mayor que 2 y las planchas de inserciïn se implantan de un modo correspondiente a la simetrïa de la armadura.