APARATO Y PROCEDIMIENTO PARA LA DESCARGA DE REACTIVOS NO VOLATILES.

SE PRESENTA UN PROCESO Y UN APARATO (100) PARA SUMINISTRAR UN MATERIAL REAGENTE DE UNA FUENTE DE SOLIDO NO VOLATIL QUE TIENE UNA PRESION DE VAPOR INFERIOR A ALREDEDOR DE 0.

1 TORR EN CONDICIONES DE 25 (GRADOS) C Y UNA ATMOSFERA DE PRESION, Y QUE ES TERMICAMENTE ESTABLE A SU TEMPERATURA DE VAPORIZACION, COMO VAPOR DEL MATERIAL REAGENTE DE LA FUENTE EN UN REACTOR CVD (12) QUE COMPRENDA UNA ZONA DE VAPORIZACION (22) Y UNA ESTRUCTURA DE MATRIZ DE VAPORIZACION (26) PARA VAPORIZAR POR DESTELLO EL MATERIAL REAGENTE DE LA FUENTE DE SOLIDO NO VOLATIL. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA EL SUMINISTRO DE REAGENTES DE GRUPO II Y DE COMPUESTOS Y COMPLEJOS DE METALES DE BAJA TRANSICION TALES COMO EL ZIRCONIO Y EL HAFNIO, Y PUEDE EMPLEARSE DE FORMA UTIL CON REAGENTES DE UNA FUENTE DE BETA-DIKETONA DEL GRUPO II PARA FORMAR CAPAS DE MATERIAL SUPERCONDUCTOR A ALTA TEMPERATURA ASI COMO PARA FORMAR CAPAS INTERMEDIAS DE FLUORUROS DE METAL DEL GRUPO II ENTRE CAPAS SUPERIORES DE ARSENURO DE GALIO O SUPERCONDUCTORES, Y PARA DEPOSITAR PELICULAS FINAS DE MATERIALES FOTONICOS Y FERROELECTRICOS, POR EJEMPLO BATIO3, BAXSR1-XNB2O6, Y PBZR1-XTIXO3.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 7 COMMERCE DRIVE,DANBURY, CT 06810.

Inventor/es: KIRLIN, PETER, S., BINDER, ROBIN, L., GARDINER, ROBIN, A., VAN BUSKIRK, PETER, ZHANG, JIMING, STAUF, GREGORY.

Fecha de Publicación: 16 de Junio de 1998.

Fecha Solicitud PCT: 11 de Diciembre de 1992.

Fecha Concesión Europea: 1 de Abril de 1998.

Clasificación Internacional de Patentes:

B05D5/12 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B05 PULVERIZACION O ATOMIZACION EN GENERAL; APLICACION DE MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL. › B05D PROCEDIMIENTOS PARA APLICAR MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL (transporte de objetos en los baños de líquidos B65G, p. ej.. B65G 49/02). › B05D 5/00 Procedimientos para aplicar líquidos u otros materiales fluidos a las superficies para obtener efectos, acabados o estructuras de superficie particulares. › para obtener un revestimiento que tenga propiedades eléctricas específicas.
C23C16/00 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00).
C23C16/40 C23C […] › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Oxidos.
C23C16/44 C23C 16/00 […] › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Mónaco, Irlanda, Oficina Europea de Patentes, Canadá, Japón.

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