APARATO Y METODO PARA INSPECCION DE SUPERFICIE.

APARATO PARA COMPARAR UNA SUPERFICIE DE ENSAYO 23 CON UNA SUPERFICIE DE REFERENCIA 8 QUE COMPRENDE UNOS MEDIOS DETECTORES 16,

17, UN CANAL DE ENSAYO CE PARA RECIBIR RADIACION DESDE LA SUPERFICIE DE ENSAYO 23 Y UN CANAL DE REFERENCIA CR PARA RECIBIR LA RADIACION DESDE LA SUPERFICIE DE REFERENCIA 8. SE DISPONEN UNOS MEDIOS SELECTORES 12 PARA PASAR LA RADIACION DESDE LOS MEDIOS DEL CANAL DE ENSAYO CE Y LOS MEDIOS DEL CANAL DE REFERENCIA CR HASTA LOS MEDIOS DETECTORES. SE DISPONEN MEDIOS DE VARIACION 5 PARA VARIAR LA RADIACION PASADA A LO LARGO DEL CANAL DE ENSAYO CE Y DEL CANAL DE REFERENCIA CR. SE DISPONEN MEDIOS DE CICLADO PARA HACER CICLAR LOS MEDIOS SELECTORES 12 ENTRE UN PRIMER ESTADO EN SE HACE PASAR MAS RADIACION DESDE EL CANAL DE ENSAYO CE QUE DESDE EL CANAL DE REFERENCIA CR HASTA LOS MEDIOS DETECTORES Y VICEVERSA. SE DISPONEN UNOS MEDIOS DE CONTROL PARA CONTROLAR LOS MEDIOS DE VARIACION DE LA RADIACION 5 PARA PROVEER UN CERO O UNA VARIACION MINIMA DE LA RADIACION RECIBIDA POR MEDIO DE LOS MEDIOS DETECTORES ASI COMO LOS MEDIOS SELECTORES 12 SON CICLADOS.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: COGENT LIMITED.

Nacionalidad solicitante: Reino Unido.

Dirección: TEMPLE COURT 11 QUEEN VICTORIA STREET, LONDON, EC4N 4TP.

Inventor/es: BAKER, LIONEL.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 6 de Marzo de 1991.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01B11/30 FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
  • G01B9/02 G01B […] › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.

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