CIP-2021 : H01S 3/225 : incluyendo un "excimer" o "exciplex".
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H ELECTRICIDAD.
H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.
H01S DISPOSITIVOS QUE UTILIZAN EL PROCESO DE AMPLIFICACION DE LUZ MEDIANTE EMISION ESTIMULADA DE RADIACIÓN [LASER] PARA AMPLIFICAR O GENERAR LUZ; DISPOSITIVOS QUE UTILIZAN EMISION ESTIMULADA DE RADIACION ELECTROMAGNETICA EN RANGOS DE ONDA DISTINTOS DEL ÓPTICO.
H01S 3/00 Láseres, es decir, dispositivos que utilizan la emisión estimulada de la radiación electromagnética en el rango de infrarrojos, visible o ultravioleta (láseres de semiconductores H01S 5/00).
H01S 3/225 · · · · incluyendo un "excimer" o "exciplex".
CIP2021: Invenciones publicadas en esta sección.
LASER EXCIMERO DE BANDA DE EMISION ESTRECHA CON GAS ADITIVO.
(16/03/2005). Ver ilustración. Solicitante/s: CYMER, INC. Inventor/es: HOFMANN, THOMAS, ISHIHARA, TOSHIHIKO, DAS, PALASH, P., ERSHOV, ALEXANDER I.
Láser excímero comprendiendo una cámara del láser compuesta de materiales compatibles con el flúor y conteniendo: dos electrodos alargados ; por lo menos un preionizador; y un gas láser caracterizado porque el gas láser define una presión total y comprende un primer gas noble, flúor, un gas regulador y un aditivo de estabilización de menos de 100 ppm; dicho aditivo de estabilización escogiéndose de un grupo que consta de: oxígeno en menos de 10 ppm y una cantidad de un segundo gas noble el cual es más pesado que dicho primer gas noble.
SISTEMA DE LONGITUD DE ONDA PARA UN LASER EXCIMER.
(16/12/2003) Un sistema de longitud de onda para medir y controlar la longitud de onda de un láser de banda estrecha. El sistema incluye un medidor de onda para medir los cambios incrementales en la longitud de onda y una referencia atómica de la longitud de onda para calibrar el medidor de onda . La referencia atómica de la longitud de onda incluye una célula de vapor para proporcionar un vapor que tiene al menos una línea de absorción cerca de una longitud de onda operativa deseada. El sistema incluye un dispositivo de sintonización de longitud de onda con un intervalo de sintonía suficiente para sintonizar el láser para funcionar a la longitud de onda de la línea de absorción para calibrar el…
LASER DE BANDA MUY ESTRECHA CON CAVIDAD DE RESONANCIA INESTABLE.
(01/12/2003). Solicitante/s: CYMER, INC. Inventor/es: ERSHOV, ALEXANDER I.
Láser de banda muy estrecha. El ancho de banda muy estrecho se logra creando una cavidad de resonancia inestable que usa un espejo cilíndrico, parcialmente reflector para proporcionar un acoplador de salida en combinación con un módulo que estrecha la línea que tiene un expansor de haz y una rejilla curvada.
UN METODO PARA PROLONGAR LA VIDA DEL GAS DE LASERES EXCIMEROS.
(01/11/1994). Solicitante/s: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES. Inventor/es: JURSICH, GREGORY, M., VON DRASEK, WILLIAM, A.
UN METODO PARA PROLONGAR LA VIDA DEL GAS DE UN LASER EXCIMERO SUPRIMIENDO LA IMPUREZA DEL CF4, QUE COMPRENDE: A) LA REACCION DEL CF4, UNA IMPUREZA INDESEABLE QUE SE FORMA Y QUE CONTIENEN LOS GASES DE ACCION LASER, CON UNA CANTIDAD DE UN ADITIVO DE GAS OXIDANTE EFICAZ PARA PRODUCIR UNO O MAS COMPUESTOS QUE SON CONDENSABLES CON UN MEDIO DE REFRIGERACION, SIN REDUCIR EL RENDIMIENTO DEL LASER POR DEBAJO DE UN NIVEL ACEPTABLE PREDETERMINADO; Y B) LA CONDENSACION DE DICHO O DICHOS COMPUESTOS PRODUCIDOS EN EL PASO A) CON UN MEDIO DE REFRIGERACION, SUBSTANCIALMENTE, ADEMAS, SIN CONDENSAR DICHO O DICHOS GASES RAROS, SUPRIMIENDO, DE ESTE MODO, DICHA IMPUREZA DEL CF4 DE DICHO LASER EXCIMERO Y PROLONGANDO LA VIDA DEL GAS DEL LASER.
