Sistema y procedimiento de inspección de superficies de estructuras micro y nanomecánicas.
(10/06/2015) Sistema de inspección de superficies dispuesto para detectar características de desplazamiento relativo y/o de vibración de diversos puntos de una pluralidad de elementos que forman parte de una estructura mecánica , comprendiendo dicho sistema: una fuente de luz dispuesta para generar, al menos, un haz de luz ; un detector sensible a la posición dispuesto para recibir el haz de luz cuando es reflejado fuera de la estructura mecánica y para generar, al menos, una señal de salida en respuesta a la recepción de dicho haz de luz; un sistema de control electrónico ; un medio de exploración para el desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica con el fin de explorar dicha estructura…