Método para fabricar un JFET de triple implante.

(08/04/2020). Solicitante/s: United Silicon Carbide Inc. Inventor/es: BHALLA,ANUP, LI,ZHONGDA.

Un método para crear un JFET (o 'transistor de efecto de campo de unión o juntura'), que comprende: a. aplicar una primera máscara a una lámina u oblea para formar una primera capa de enmascaramiento dura y estampada en la parte superior de la oblea, de manera que la oblea comprende una región de deriva superior y una región de drenaje inferior ; b. aplicar tres implantes a la porción 'no enmascarada' de la parte superior de la oblea para formar una región de la compuerta inferior (605b), una región del canal horizontal y una región de la compuerta superior (605a) en la parte o porción superior de la región de deriva ; c. formar una región de la fuente en una parte o porción de la región de la compuerta superior; d. conectar las regiones de la compuerta superior y la compuerta inferior (605a, 605b).

PDF original: ES-2794629_T3.pdf