PROCEDIMIENTO PARA EL TRATAMIENTO DE DESGASTE QUIMICO O ELECTROMAGNETICO SELECTIVO DE ZONAS SELECCIONADAS DE LA SUPERFICIE DE UNA PRESA DE TRABAJO.

(16/02/1981). Solicitante/s: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.

PROCEDIMIENTO PARA ESTABLECER, POR MEDIO DE UN RAYO DE ENERGIA, ESTRUCTURAS () DE ALTA RESOLUCION, MECANIZADAS QUIMICA O ELECTROQUIMICAMENTE, SIN MASCARA PARA LA OBTENCION DE CIRCUITOS INTEGRADOS. LA PIEZA DE TRABAJO SE COLOCA EN UN RECIPIENTE CON UNA SOLUCION DE ATAQUE QUIMICO ALCALINO Y SE DIRIGE UN RAYO , CONCENTRADO EN HAZ (DE DENSIDAD DE 10 ELEVADO A DOS A 10 ELEVADO A SEIS W/CM ELEVADO A DOS) DE ENERGIA ELECTROMAGNETICA SOBRE EL, CALENTANDO SELECTIVAMENTE ZONAS DE LA SUPERFICIE, CON LO QUE SE ACELERA LA REACCION EN DICHAS ZONAS Y SE DESGASTAN PREFERENTEMENTE.