SENSOR DE GASES.
Sensor de gases, constituido por un sustrato de silicio (1) que incluye una zona (2) micromecanizada sobre la que va dispuesta una resistencia calefactora (4),
ocluida en una sustancia dieléctrica (3) sobre la que va dispuesta una capa de óxido metálico semiconductor (6), que embebe elementos catalizadores (7). Estos elementos catalizadores presentan una disposición en capas y están embebidos dentro del volumen del óxido metálico semiconductor de forma no homogénea.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: SOCIEDAD DE GAS DE EUSKADI, S.A.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: VIZCAYA.
Inventor/es: GRACIA GAUDO,FCO. JAVIER, CASTAÑO CARMONA,ENRIQUE, MIGUEL OLAIZOLA,SANTIAGO.
Fecha de Solicitud: 13 de Mayo de 1999.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 11 de Marzo de 2003.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01N27/16 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 27/00 Investigación o análisis de materiales mediante el empleo de medios eléctricos, electroquímicos o magnéticos (G01N 3/00 - G01N 25/00 tienen prioridad; medida o ensayo de variables eléctricas o magnéticas o de las propiedades eléctricas o magnéticas de los materiales G01R). › producida por la oxidación por combustión o catálisis de un material del espacio circundante a ensayar, p. ej. de un gas.
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