APARATO DE TIPO ROBOT.
UN APARATO DE ROBOT QUE CONSTA DE UNA CAMARA DE VACIO CON ROBOT (1003) QUE TIENE UNA PARED EXTERIOR (1004),
UNA PARED SUPERIOR (1001) Y UNA PARED INFERIOR (1002); UN ROBOT (1008) COLOCADO DENTRO DE DICHA CAMARA DE VACIO (1003) Y UN SOPORTE (1005, 1006, 1007) COLOCADO DENTRO DE DICHA CAMARA DE VACIO (1003) QUE SE EXTIENDE DESDE LA PARED SUPERIOR (1001) HASTA LA PARED INFERIOR (1002), DE MODO QUE CUANDO SE PRODUCE EL VACIO DENTRO DE DICHA CAMARA DE VACIO (1003), DICHO SOPORTE (1005, 1006, 1007) REDUCE SIGNIFICATIVAMENTE EL DESPLAZAMIENTO VERTICAL DE DICHAS PAREDES SUPERIOR E INFERIOR (1001, 1002) EN UNA PRESION AMBIENTE.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: P.O. BOX 58039, M/S 0934, 3050 BOWERS AVENUE, SANTA CLARA, CALIFORNIA 950.
Inventor/es: LOWRANCE, ROBERT B.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 3 de Febrero de 1999.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B25J21/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B25 HERRAMIENTAS MANUALES; HERRAMIENTAS DE MOTOR PORTATILES; MANGOS PARA UTENSILIOS MANUALES; UTILLAJE DE TALLER; MANIPULADORES. › B25J MANIPULADORES; RECINTOS CON DISPOSITIVOS DE MANIPULACION INTEGRADOS (dispositivos robóticos para recolección individual de frutas, hortalizas, lúpulo y similares A01D 46/30; manipuladores de agujas para cirugía A61B 17/062; manipuladores asociados a las laminadoras B21B 39/20; manipuladores asociados a las máquinas de forja B21J 13/10; medios para mantener las ruedas o sus elementos B60B 30/00; grúas B66C; disposiciones para la manipulación del combustible o de otros materiales utilizados en el interior de reactores nucleares G21C 19/00; combinación estructural de manipuladores con celdas o recintos protegidos contra la radiación G21F 7/06). › Recintos con dispositivos de manipulación integrados (características de estructura del montaje de un manipulador sobre la pared B25J 1/08).
- H01L21/00 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas.
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