UN PROCEDIMIENTO PARA DEPOSITAR UN REVESTIMIENTO DE UN NITRURO DE METAL DE TRANSICION SELECCIONADO SOBRE UN SUBSTRATO.

PROCEDIMIENTO PARA DEPOSITAR UN REVESTIMIENTO DE UN NITRURO DE METAL DE TRANSICION SELECCIONADO, SOBRE UN SUSTRATO. COMPRENDE: A) SITUAR AL SUSTRATO EN UNA CAMARA DE DEPOSICION; B) MEZCLAR A UN COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION DE FORMULA

(MRX) Y EN ESTADO LIQUIDO CON UN GAS PORTADOR COMO UNA MEZCLA DE HIDROGENO Y NITROGENO ENTRE C20J Y 60JC EN UN BORBOTEADOR; C) TRANSPORTAR A LA MEZCLA DE COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION Y GAS PORTADOR HASTA LA CAMARA DE DEPOSICION A TRAVES DE UNA BOMBA DE VACIO; Y D) DEPOSITAR AL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SOBRE EL SUSTRATO, ENTRE 400JC Y 800JC Y A UNA PRESION ENTRE 0,2 Y 100 TORR. SIENDO: R, AZIDA, HALOGENO Y -NRKR2; R1 Y R2, HIDROGENO, ALQUILO INFERIOR, CICLOPENTADIENILO Y OTROS; M, METAL DE TRANSICION SELECCIONADO ENTRE TI, NB, ZR, HF, MO, W, CR Y V; Y X UN NUMERO ENTERO ENTRE 2 O 6. EL SUSTRATO SE SELECCIONA ENTRE ARSENIURO DE GALIO Y DE SILICIO Y EL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SE SELECCIONA ENTRE, TETRAQUIS (DIMETILAMINO)TITANIO; TETRAQUIS(DIETILAMINO)TITANIO Y TETRAQUIS(DIETILAMINO)CIRCONIO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: MORTON THIOKOL, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 110 NORTH WACKER DRIVE, CHICAGO, ILLINOIS 60606.

Fecha de Solicitud: 4 de Septiembre de 1985.

Fecha de Publicación: .

Fecha de Concesión: 14 de Noviembre de 1985.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/34 (Nitruros)
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