SISTEMA DE REACTOR TERMICO RESISTENTE A LA PRESION PARA PROCESAR SEMICONDUCTORES.

EL DESCUBRIMIENTO ES RELATIVO UN SISTEMA (100) DE REACTOR TERMICO PARA PROCESAR SEMICONDUCTORES, EL CUAL INCORPORA UNA VASIJA DE REACCION

(104) CON UN TUBO DE CUARZO (110) RECTANGULAR CON UN ESCUDETE (111-115) DE CUARZO PARALELO REFORZANDOLO. LOS ESCUDETES HABILITAN UN SUB-AMBIENTE DE PRESION DE PROCESO, MIENTRAS QUE LOS TUBOS RECTANGULARES MAXIMIZAN EL FLUJO DE GAS REACTIVO, UNIFORMEMENTE SOBRE EL SUSTRATO QUE SE PROCESA. LOS ESCUDETES FACILITAN EL ENFRIAMIENTO EFECTIVO, MIENTRAS QUE IMPARTEN MINIMAMENTE CALENTAMIENTO DESDE LA VASIJA, PERMITIENDO ESPESORES MINIMOS DE LA PARED. EL SISTEMA DE REACTOR TERMICO INCLUYE ADICIONALMENTE UNA FUENTE (102) PARA SUMINISTRAR GAS REACTIVO Y UN SISTEMA (106) DE MANEJO DE LA EXPULSION PARA ELIMINAR LOS GASES AGOTADOS DE LA VASIJA DE REACCION Y ESTABILIZAR LA PRESION EN ELLA. UNA SERIE ORDENADA DE LAMPARAS (136) INFRARROJAS SE EMPLEA PARA RADIAR ENERGIA A TRAVES DEL TUBO DE CUARZO; LAS LAMPARAS ESTAN DISPUESTAS ESCALONADAS EN RELACION A LOS ESCUDETES DE CUARZO PARA MINIMIZAR EL APANTALLAMIENTO. ADICIONALMENTE, SE DESCUBREN OTRAS GEOMETRIAS DE VASIJAS NO CILINDRICAS PROTEGIDAS, LAS CUALES SE PROVEEN PARA MEJORAR EL SUB-AMBIENTE DE PRESION TERMICA PROCESANDO SUSTRATOS DE SEMICONDUCTORES.FIG 1.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA CALIFORNIA 95051.

Inventor/es: .

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 20 de Marzo de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/46 (por la forma de calentar el sustrato (C23C 16/48, C23C 16/50 tienen prioridad))
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