REVESTIMIENTOS DE OXIDO DE TITANIO MEDIANTE CVD DE PLASMA A PRESION ATMOSFERICA.

Método para depositar sobre un sustrato películas delgadas foto-catalíticas de óxido de titanio

, o que contienen óxido de titanio, comprendiendo el método las etapas de: - usar un plasma de descarga luminosa a presión atmosférica como una fuente mayoritaria de reacción para mejorar propiedades de películas y velocidades de crecimiento de películas, cuando el sustrato se calienta a una temperatura por debajo de 250°C, en donde se genera el plasma de descarga luminosa, entre electrodos, por una fuente de frecuencia baja por ejemplo AF o RF en donde la frecuencia es inferior a 30 Khz y en donde la densidad de potencia del plasma es inferior a 5 Wcm-2, - introducir un precursor CVD de óxido de titanio reactivo en un gas que fluye a través de una región de revestimiento, en donde el precursor CVD de óxido de titanio reactivo se ha pre-evaporado en el flujo de gas introducido, - crecer películas delgadas, en donde se controlan cuidadosamente un nivel de agua y oxígeno para conseguir velocidades objetivo de crecimiento y controlar reacciones secundarias no deseadas, estando el nivel de oxígeno por debajo de 5% y estando controlados por debajo de 1% los niveles de vapor de agua, - un post-tratamiento del revestimiento con un plasma de descarga luminosa atmosférico que modifica las propiedades foto-catalíticas y estructura de la película.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: 18, AVENUE D'ALSACE,92400 COURBEVOIE.

Inventor/es: SHEEL, DAVID, WILLIAM, PEMPLE,MARTYN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 27 de Junio de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/40 (Oxidos)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/453 (haciendo pasar los gases de reacción a través de quemadores o de antorchas, p. ej. CVD a presión atmosférica (C23C 16/513 tiene prioridad; para la pulverización de material de revestimiento en estado fundido con ayuda de una llama o de un plasma C23C 4/00))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/503 (utilizando descargas con corriente continua o alterna)
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