PROCEDIMIENTO Y DISPOSICION PARA EL TRATAMIENTO CONTINUO DE OBJETOS.

Procedimiento para el tratamiento continuo de objetos en un dispositivo de mecanización, en especial para el tratamiento superficial de objetos

(111, 124) en forma de placa como elementos constructivos semiconductores, con preferencia rodajas de silicio, en donde los objetos se mueven a lo largo de una pista de transporte (16) que atraviesa el dispositivo de mecanización (10) mediante un primer dispositivo de transporte (36, 38, 40, 42), que actúa linealmente y ejerce un movimiento de vaivén, y en donde los objetos se alimentan a través de un dispositivo de entrega (22, 24, 60, 62) a la pista de transporte o se extraen de la misma, caracterizado porque los objetos se disponen sobre soportes (18, 20, 26, 52) que, mediante al menos dos primeros dispositivos de transporte que actúan linealmente y ejercen un movimiento de vaivén, son transportados sobre la pista de transporte yuxtapuestos y seguidamente continuamente a través del dispositivo de mecanización, en donde la yuxtaposición y seguidamente el transporte continuo de los soportes se produce de tal modo, que uno de los primeros dispositivos de transporte alinea un soporte entregado a la pista de transporte con soportes disponibles sobre la pista de transporte, mientras que el otro primer dispositivo de transporte transporta continuamente los soportes yuxtapuestos anteriormente.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: SCHOTT SOLAR GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: CARL-ZEISS-STRASSE 4,63755 ALZENAU.

Inventor/es: LAUINGER,THOMAS, ABERLE,ARMIN, AUER,RICHARD, HALBACH,GUIDO, KANNE,MANUEL, PASCHKE,HANNO, MOSCHNER,JENS.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 10 de Febrero de 2000.

Fecha Concesión Europea: 5 de Septiembre de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

google+ twitter facebookPin it
PROCEDIMIENTO Y DISPOSICION PARA EL TRATAMIENTO CONTINUO DE OBJETOS.