PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS MEDIANTE MORDENTADO CON PLASMA, DE SUPERFICIES RICAS EN ALUMINIO.

Procedimiento para la fabricación de dispositivos mediante mordentado con plasma

, de superficies ricas en aluminio, del tipo que comprende por lo menos una operación durante la cuál el dispositivo én fabricación comprende una superficie de material de la cual por lo menos ciertas regiones elegidas se han de mordentar. cuyo dispositivo o artículo se mordente dentro de un ambiente de plasma contenido en el interior de un aparato, resultando el plasma de la imposición de un campo eléctrico a través de una mezcla gaseosa entre electrodos, comprendiendo el material que se mordente una composición elemental rica en aluminio, debiéndose principalmente el mordentado a reacción química con el material que se mordenta; caracterizado porque para mejorar el control sobre el perfil del mordentado del material rico en aluminio elemental, por ejemplo para obtener paredes verticales rectas, con formación de rebajo positivo o formación de rebajo negativo, de dichas regiones elegidas, la mezcla gaseosa contiene una mezcla de BCl3 y Cl2 que en el plasma da por resultado la reacción química en la cual el contenido de Cl en la mezcla gaseosa es de 0,1% en volumen al 20% en volumen expresado como porcentaje del contenido total de BCl3 más Cl2 y, además, porque la presión y la potencia dentro del ambiente del plasma se mantienen dentro de los límites del orden de 0,05 torr a 1 torr y de 0,035 watios/cm2 a 0,7 watios/cm2 respectivamente.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 222 BROADWAY, NEW YORK, N.Y. 10038.

Fecha de Solicitud: 30 de Julio de 1979.

Fecha de Publicación: .

Fecha de Concesión: 1 de Marzo de 1980.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > LEVANTAMIENTO NO MECANICO DE MATERIAL METALICO DE... > C23F1/00 (Decapado de materiales metálicos por medios químicos)
google+ twitter facebook