PROCEDIMIENTO DE REALIZACION DE UN DISPOSITIVO SEMICONDUCTOR DE METALIZACIONES AUTOALINEADAS.

Procedimiento de realización de un dispositivo semiconductor, que comprende las siguientes etapas:

- realización en una primera cara principal (40.2) de un substrato semiconductor (40) de una región dopada (44.1) de un primer tipo de conductividad y de al menos una ventana (45) que delimita dicha región, - depósito de una primera zona (46) de metalización en la región dopada (44.1) del primer tipo de conductividad, - depósito de una capa dieléctrica (47) en al menos la ventana (45) y la primera zona (46) de metalización, - grabado de al menos una primera abertura (48) en la capa dieléctrica (47) al nivel de la ventana (45) que deja al descubierto el substrato (40), destinada a acoger una región dopada (50) de un segundo tipo de conductividad ajustando lateralmente una porción no dopada (40.1) del substrato semiconductor entre la región dopada (50) del segundo tipo de conductividad y la región dopada (44.1) del primer tipo de conductividad, - dopaje del substrato (40) que conduce a la región dopada (50) del segundo tipo de conductividad, - depósito de una segunda zona (50) de metalización que recubre la capa dieléctrica (47) y que entra en contacto con la región dopada (50) del segundo tipo de conductividad.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: 25, RUE LEBLANC IMMEUBLE "LE PONANT D",75015 PARIS.

Inventor/es: RIBEYRON,PIERRE-JEAN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 23 de Julio de 2008.

Clasificación PCT:

  • H01L31/0224 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 31/00 Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación infrarroja, a la luz, a la radiación electromagnética de ondas más cortas, o a la radiación corpuscular, y adaptados bien para la conversión de la energía de tales radiaciones en energía eléctrica, o bien para el control de la energía eléctrica por dicha radiación; Procesos o aparatos especialmente adaptados a la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas; Sus detalles (H01L 51/42 tiene prioridad; dispositivos consistentes en una pluralidad de componentes de estado sólido formados en o sobre un sustrato común, diferentes a las combinaciones de componentes sensibles a la radiación con una o varias fuentes de luz eléctrica H01L 27/00). › Electrodos.
  • H01L31/18 H01L 31/00 […] › Procesos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas.

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