METODO Y APARATO DE MEDIDA DE LA RESISTENCIA DE CAPA SIN CONTACTO.
SE PRESENTA UN APARATO Y UN METODO DE MEDIDA DE LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA,
SIN CONTACTO PARA MEDIR LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA DE UNA CAPA DESEADA DE UN PRIMER TIPO DE CONDUCTIVIDAD, FORMADA SOBRE UN SUBSTRATO DE UN TIPO DE CONDUCTIVIDAD OPUESTA. EL APARATO COMPRENDE MEDIOS PARA ESTABLECER UNA CAPACITANCIA DE UNION, MEDIOS GENERADORES DE UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA EN LA UBICACION DEL PUNTO PARA GENERAR UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION PARA MONITORIZAR EL FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, Y MEDIOS GENERADORES DE SEÑALES DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA SENSIBLES A LOS MEDIOS PARA ESTABLECER LA CAPACITANCIA DE UNION, LOS MEDIOS GENERADORES DE FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA, Y LOS MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION SIRVE PARA GENERAR UNA SEÑAL DE SALIDA INDICATIVA DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA R{SUB, S} DE LA CAPA DESEADA DE ACUERDO CON UN MODELO DE RESISTENCIA DE LAMINA PRESCRITO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: ,ARMONK, NY 10504.
Inventor/es: VERKUIL, ROGER LEONARD.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 11 de Agosto de 1999.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01R31/28 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01R MEDIDA DE VARIABLES ELECTRICAS; MEDIDA DE VARIABLES MAGNETICAS (indicación de la sintonización de circuitos resonantes H03J 3/12). › G01R 31/00 Dispositivos para ensayo de propiedades eléctricas; Dispositivos para la localización de fallos eléctricos; Disposiciones para el ensayo eléctrico caracterizadas por lo que se está ensayando, no previstos en otro lugar (ensayo o medida de dispositivos semiconductores o de estado sólido, durante la fabricación H01L 21/66; ensayo de los sistemas de transmisión por líneas H04B 3/46). › Ensayo de circuitos electrónicos, p. ej. con la ayuda de un trazador de señales (ensayo de computadores durante las operaciones de espera "standby" o los tiempos muertos G06F 11/22).
- G01R31/311 G01R 31/00 […] › de circuitos integrados.
- H01L21/66 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Ensayos o medidas durante la fabricación o tratamiento.
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