INSTALACION DE VACIO.

LA INSTALACION DE VACIO PARA TRATAMIENTO DE PIEZAS DE TRABAJO EN FORMA DE DISCO MUESTRA UNA CAMARA DE DISTRIBUCION CENTRAL (7),

EN LA QUE SE INTRODUCEN LAS PIEZAS DE TRABAJO DESDE UNA ESCLUSA POR UNA ABERTURA DE CONEXION QUE SE CIERRA MEDIANTE UN ELEMENTO DE CIERRE (8) CON AYUDA DE UN MECANISMO DE TRANSPORTE (10, 11, 12) COLOCADO EN LA CAMARA DE DISTRIBUCION, PRINCIPALAMENTE EN FORMA DE UN BRAZIO DE ROBOT. EN LA CAMARA DE DISTRIBUCION (7) SE ENCIERRAN ADEMAS POR EL PERIMETRO DE LA MISMA CAMARA INTERMEDIA DISTRIBUIDA (15) COMO MODULO INTERCAMBIABLE, CON LO QUE LA CONEXION ENTRE ESTOS SE PUEDE CERRAR CADA POSICION DE CIERRE POR UN ELEMENTO DE CIERRE (4). UNA CAMARA INTERMEDIA (15) ESTA EN CONEXION CON AL MENOS UNA CAMARA DE PROCESO (24, 25) POR UNA ABERTURA DE CONEXION (22, 23), QUE CON OBJETO DE LA SEPARACION DE LA CAMARA DEPROCESO DE LA CAMARA INTERMEDIA SE CIERRA. EN LA CAMARA INTERMEDIA (15) ESTA COLOCADO OTRO MECANISMO DE TRANSPORTE (20, 21) CON OBJETO DE SOBRETOMA DE LAS PIEZAS DE TRABAJO DEL PRIMER MECANISMO DE TRANSPORTE (10, 11, 12), QUE SITUA LAS PIEZAS DE TRABAJO EN UNA MESA ELEVADORA (26, 27) COLOCADA EN LA PARTE INFERIOR DE UNA CAMARA DE PROCESO (24, 25). ESTA LLEVA LA PIEZA DE TRABAJO EN LA CAMARA DE PROCESO CORRESPONDIENTE Y SEPARA SIMULTANEAMENTE ESTA DE LA CAMARA INTERMEDIA VARIAS CAMARAS DE PROCESO (24, 25). LOS ELEMENTOS DE CIERRA (8, 14, 26, 27) EN LAS ABERTURAS DE CONEXION ENTRE LAS CAMARAS (7, 15, 24, 25) SE GOBIERNAN AL LLEVAR A CABO EL PROCESO DE TAL MODO QUE NO PUEDE TENER LUGAR NINGUN EXCESO NO DESEADO DE GASES O PARTICULAS DE UNAS CAMARA DE PROCESO EN LAS OTRAS.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT.

Nacionalidad solicitante: Liechtensein.

Dirección: , FL-9496 BALZERS.

Inventor/es: WAGNER, RUDOLF, BADER, MARTIN, DR., MOLL, EBERHARD, DR., ZANARDO, RENZO, VAN AGTMAAL, J.G.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 14 de Noviembre de 2001.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01L21/00 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas.

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