INSTALACION DE RECUBRIMIENTO A VACIO Y DISPOSICION DE ACOPLAMIENTO Y PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE PIEZAS DE TRABAJO.

Instalación de recubrimiento a vacío con al menos: - una cámara de distribución central que se puede evacuar con una disposición de transporte de piezas de trabajo accionada controlada esencialmente a lo largo de un plano; - al menos una cámara de control para las cámaras de distribución así como al menos dos cámaras de tratamiento para producto a tratar

, cuyas al menos tres cámaras se comunican a través de aberturas de control con la cámara de distribución, a través de cuyas aberturas se pueden transportar piezas de trabajo desde una cámara a la otra por medio de la disposición de transporte, caracterizada porque - están presentes soportes de piezas de trabajo, respectivamente, con una pluralidad de alojamientos de piezas de trabajo, por lo que la disposición de transporte transporta soportes de piezas de trabajo y las piezas de trabajo sobre los soportes de piezas de trabajo pueden ser transportadas a través de las aberturas, - en al menos una de las cámaras de tratamiento están presentes un accionamiento y una conexión de accionamiento, que puede ser establecida y liberada controlada de forma automática, entre el accionamiento y los alojamientos de piezas de trabajo de un soporte de piezas de trabajo introducido en la cámara de tratamiento.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: UNAXIS TRADING AG.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: C/O BALZERS AG,9477 TRUBBACH.

Inventor/es: HANS, MICHAEL, ZAECH, MARTIN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 25 de Septiembre de 1998.

Fecha Concesión Europea: 20 de Noviembre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/56 (Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/50 (Portasustrato)
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > PROCEDIMIENTOS O APARATOS FISICOS O QUIMICOS EN GENERAL > PROCEDIMIENTOS QUIMICOS O FISICOS, p. ej. CATALISIS,... > Procedimientos que utilizan una presión superior... > B01J3/03 (Recipientes bajo presión, o recipientes bajo vacío, teniendo órganos de cierre o juntas de estanqueidad especialmente adaptados a este efecto)

Países PCT: Suiza, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Suecia, Oficina Europea de Patentes.

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