DISPOSITIVO DE MEDICION INTERFEROMETRICA PARA LA MEDICION DE LA FORMA EN SUPERFICIES RUGOSAS.
LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO DE MEDICION INTERFEROMETRICA PARA LA MEDICION DE FORMAS EN SUPERFICIES RUGOSAS DE UN OBJETO QUE SE DESEA MEDIR (7).
LA MEDICION SE EFECTUA POR MEDIO DE RADIACION COHERENTE-CORTA, CON LO QUE EL RECORRIDO DE LA LUZ O LA DURACION DE UN HAZ DE REFERENCIA (4) SE MODULAN PERIODICAMENTE Y SE COLOCAN EN INTERFERENCIA CON UN HAZ DE MEDICION (18) REFLEJADO POR LA SUPERFICIE DEL OBJETO MEDIDO (7), ANALIZANDOSE EN LA RADIACION INTERFERIDA EL MAXIMO DEL CONTRASTE DE INTERFERENCIA. AUNQUE DE SIMPLE CONSTRUCCION, EL DISPOSITIVO DE MEDICION CONSIGUE UNA ELEVADA PRECISION EN LA MEDICION, DADO QUE COMPRENDE UN SISTEMA DE INTERFEROMETRO DE MODULACION (IM) EN EL QUE EL RECORRIDO DE LA LUZ SE MODIFICA POR MEDIO DE DEFLECTORES OPTICOS-ACUSTICOS (8, 9) Y UN DISPOSITIVO DE COMPENSACION (C1, C2) PARA CORREGIR LA INCOHERENCIA Y DISPERSION ESPACIALES. EN UN SISTEMA DE INTERFEROMETRO DE DEMODULACION (DI) COLOCADO AGUAS ABAJO, EL HAZ DE MEDICION (18) SE INTERFIERE CON EL HAZ DE REFERENCIA (4) Y SE TRANSMITE A UN FOTODETECTOR (11).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ROBERT BOSCH GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: POSTFACH 30 02 20,70442 STUTTGART.
Inventor/es: DRABAREK, PAWEL.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 1 de Septiembre de 1998.
Fecha Concesión Europea: 1 de Diciembre de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/30 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
- G01B9/02 G01B […] › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.
Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Oficina Europea de Patentes.
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