DISPOSICION, ASI COMO SU EMPLEO PARA EL REVESTIMIENTO DE OBJETOS.

Sistema de revestimiento, especialmente para revestir discos de silicona, particularmente para CDV realzado con plasma, en la fabricación de celdas solares. Un sistema de revestimiento de objeto plano tiene un pistón

(14, 16) para mover un objeto dentro de un cilindro (10, 12) a una región donde el objeto se transfiere a un aparato de revestimiento (40) o es retirado. Un sistema de revestimiento de objeto plano tiene un pistón (14, 16) el cual tiene un receptor de objeto y el cual desliza en un cilindro de extremo abierto (10, 12) con regiones estanqueizadas primaria y secundaria. La región primaria se encuentra en el extremo de cilindro y tiene una longitud mayor que la anchura del receptor, mientras que la región secundaria se hace estanca contra la presión atmosférica independientemente de la posición del pistón. Un dispositivo de transferencia (86) pasa a través de una abertura de cilindro en la región secundaria de una región adyacente y a través del receptor de pistón, cuando está alineado con la abertura, para transferir el objeto a un aparato de revestimiento (40) o para retirar el objeto. También se incluye una reivindicación independiente para el revestimiento continuo de objetos planos preferentemente por CVD (PECVD) mejorado de plasma usando el aparato de arriba.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: ANGEWANDTE SOLARENERGIE - ASE GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: INDUSTRIESTRASSE 13,63755 ALZENAU.

Inventor/es: LAUINGER,THOMAS.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 25 de Mayo de 1999.

Fecha Concesión Europea: 26 de Marzo de 2008.

Clasificación PCT:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación... > H01L31/18 (Procesos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/56 (Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/54 (Aparatos especialmente adaptados para el revestimiento en continuo)
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Procedimientos o aparatos especialmente adaptados... > H01L21/205 (utilizando la reducción o la descomposición de un compuesto gaseoso dando un condensado sólido, es decir, un depósito químico)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Procedimientos o aparatos especialmente adaptados... > H01L21/677 (para el transporte, p. ej. entre diferentes estaciones de trabajo)
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE... > DISPOSITIVOS DE TRANSPORTE O ALMACENAJE, p. ej. TRANSPORTADORES... > Sistemas transportadores caracterizados por su utilización... > B65G49/07 (para obleas semiconductoras)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Irlanda, Finlandia, Chipre.

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DISPOSICION, ASI COMO SU EMPLEO PARA EL REVESTIMIENTO DE OBJETOS.