CONJUNTO DE TRATAMIENTO DE SUSTRATOS.

Un conjunto para el tratamiento de substratos, comprendiendo dicho tratamiento un proceso de deposición en vacío tal como

, por ejemplo, pulverización, CVD ó PECVD, realizándose dicho proceso de deposición en vacío en al menos una cámara de proceso, estando provisto el conjunto de un dispositivo de transporte para mover los substratos desde una esclusa de vacío a una cámara de proceso, mientras que el dispositivo de transporte se extiende en un espacio de vacío y permite un transporte continuo de un substrato adyacente a la al menos una cámara de proceso y permite un transporte intermitente adyacente a la al menos una esclusa de vacío, que se caracteriza porque el dispositivo de transporte comprende un número de portadores móviles en el espacio de vacío mientras que el accionamiento de cada portador es controlable independiente del accionamiento de los otros portadores, en el que cada portador está provisto de un número de imanes, mientras que fuera del espacio de vacío adyacente alas posiciones a lo largo de las cuales se mueven los imanes de los portadores, se disponen bobinas que pueden ser excitadas de manera que produzcan el avance de los portadores.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: OTB GROUP B.V.

Nacionalidad solicitante: Países Bajos.

Dirección: LUCHTHAVENWEG 10,5657 EB EINDHOVEN.

Inventor/es: EVERS,MARINUS,FRANCISCUS,JOHANUS, BRIER,PETER, CLIJSEN,LEONARDUS PETERUS MARIA.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 20 de Mayo de 2003.

Fecha Concesión Europea: 3 de Octubre de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/56 (Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

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CONJUNTO DE TRATAMIENTO DE SUSTRATOS.