CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO.

EN UN CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO (46), EL CUAL ESTA CONECTADO A UNA FUENTE DE CORRIENTE CONTINUA Y/O CORRIENTE ALTERNA

(ALTA FRECUENCIA), Y ESTA DISPUESTO EN UNA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2) EVACUABLE, Y EN CONTACTO ELECTRICO CON UN TARGET (29), Y QUE EL CATODO ESTA FORMADO ESENCIALMENTE DE UNA CARCASA (3) EN FORMA DE OLLA, CUYO FONDO CERRADO (58) CON SU SUPERFICIE EXTERIOR ESTA UNIDA RIGIDAMENTE CON EL TARGET (29), Y EL EXTREMO ABIERTO ORIENTADO HACIA EL TARGET (29), ESTA FIJADO DE FORMA HERMETICA EN UNA ABERTURA (48) EN LA PARED EXTERIOR (30) DE LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2) DE TAL MODO QUE, EL RECINTO INTERIOR (49) DE LA CARCASA (3) ESTA SIEMPRE SOMETIDO A LA PRESION ATMOSFERICA, MIENTRAS QUE EL TARGET (29) Y LA SUPERFICIE EXTERIOR (62), UNIDA CON LA PARTE DE LA CARCASA (3) EN FORMA DE CASQUILLO, INTRODUCIDA EN LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2), ESTAN SOMETIDOS POR LA RESPECTIVA PRESION EJERCIDA EN LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2), EN EL QUE EN EL RECINTO INTERIOR (49) DE LA CARCASA (3), SE HA PREVISTO AL MENOS PARCIALMENTE LA INCORPORACION DE UN SUPLEMENTO (8), EL CUAL FORMA CON EL FONDO (58) UN ESPACIO CASI CILINDRICO CIRCULAR, EN EL CUAL PUEDE SER EMPLAZADO UN JUEGO DE IMANES (5, 4, 61) CON YUGO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25, 63450 HANAU.

Inventor/es: MULLER, JURGEN, WOLF, BERND, NEUDERT, HANS.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 20 de Marzo de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/34 (Pulverización catódica)
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/34 (que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad))
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