BAÑO QUIMICO FILTRADO DE ALTA PUREZA, CON RECIRCULACION POR UNA CUBA/COLECTOR INTEGRADO DE CUARZO.

UN MONTAJE QUIMICO DE RECIRCULACION QUE CONSTA DE UN TANQUE DE PROCESO DE CUARZO

(11) Y UNA CAMARA DE SUMIDERO COLOCADA DIRECTAMENTE ADYACENTE AL TANQUE DE PROCESO. UN BARREÑO (54) SE EXTIENDE A LO LARGO DE LA PARTE SUPERIOR DE LAS PAREDES LATERALES DEL TANQUE DE PROCESO, ESTANDO DICHO BARREÑO (54) INCLINADA PARA OCASIONAR EL FLUJO DE GRAVITACION HACIA LA CAMARA DE SUMIDERO (21). LA CAMARA DE SUMIDERO (21) TIENE UN CONECTOR (27) EN LA PARTE INFERIOR (21) DE LA MISMA QUE LLEVA EL LIQUIDO DEL SUMIDERO A UN CIRCUITO DE BOMBA/FILTRO, CUYA SALIDA ES ALIMENTADA EN EL FONDO DEL TANQUE DE PROCESO (11). DE ESTA MANERA SE CONSIGUE QUE EL LIQUIDO SE DESBORDE DEL TANQUE DE PROCESO (11) Y ENTRE EN EL BARREÑO (54) Y FLUYA HASTA ENTRAR EN LA CAMARA DE SUMIDERO ADYACENTE (21). HAY VARIAS UNIDADES TERMICAS (19) COLOCADAS EN LA SUPERFICIE EXTERIOR DEL TANQUE DE PROCESO (11) PARA CALENTAR EL LIQUIDO QUE SE ENCUENTRA DENTRO A UNA TEMPERATURA DE PROCESO ADECUADA. LA CAMARA DE SUMIDERO (21) SE ENFRIA DE MODO QUE EL LIQUIDO QUE ENTRA EN LA BOMBA/FILTRO ESTE A LA TEMPERATURA MAS FRIA DEL CICLO DE FLUJO DEL LIQUIDO. EL TANQUE DE PROCESO (11) Y LA CAMARA DE SUMIDERO (21) PUEDEN ESTAR HECHAS EN SU TOTALIDAD DE PLANCHAS DE CUARZO SOLDADAS Y MOLDEADAS Y COLOCADAS DENTRO DE LA CAJA EXTERIOR QUE CONTIENE EL AISLAMIENTO TERMICO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BERMAN, ALLAN.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 1295 FORGEWOOD AVENUE,SUNNYVALE, CA 94089.

Inventor/es: BERMAN, ALLAN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 21 de Junio de 1990.

Fecha Concesión Europea: 13 de Septiembre de 1995.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > LEVANTAMIENTO NO MECANICO DE MATERIAL METALICO DE... > Decapado de materiales metálicos por medios químicos > C23F1/08 (Aparatos, p. ej. para la impresión fotomecánica de superficies)
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > LIMPIEZA > LIMPIEZA EN GENERAL; PREVENCION DE LA SUCIEDAD EN... > Limpieza mediante procedimientos que implican la... > B08B3/04 (Limpieza que implica el contacto con un líquido)
  • SECCION E — CONSTRUCCIONES FIJAS > SUMINISTROS DE AGUA; EVACUACION DE AGUAS > INSTALACIONES O PROCEDIMIENTOS PARA OBTENER, RECOGER... > Canalizaciones principales o redes de distribución... > E03B7/07 (Disposición de los aparatos, p. ej. filtros, controles del caudal, dispositivos de medida, sifones, válvulas, en las redes de canalizaciones (aparatos con esta finalidad en sí , ver las clases correspondientes))

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Oficina Europea de Patentes, Japón, República de Corea.

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