APARATO PARA REALIZAR AL MENOS UN PROCESO SOBRE UN SUSTRATO.

Un aparato para realizar al menos una operación de procesado sobre un sustrato, estando provisto el aparato con al menos una cámara de proceso

(2, 3) en la que, durante el uso, tiene lugar una operación de procesado a presión reducida, y está provisto con una antecámara de vacío (1) para el propósito de colocar el sustrato de los alrededores en dicha al menos una cámara de proceso (2, 3) sin perder la presión reducida en la cámara de proceso, comprendiendo la antecámara de vacío (1) una cámara de vacío (13) que está limitada por numerosas paredes y a la que está conectada una bomba de vacío, mientras que en una de las paredes está provista al menos una abertura de suministro (7), y para el propósito de al menos una de dichas cámaras de proceso (2, 3) en una de las paredes se proporciona una abertura de la cámara de proceso (8) que pertenece a dicha al menos una cámara de proceso (2, 3), la al menos una abertura de suministro (7) pudiendo cerrarse externamente con una cubierta externa (10) y pudiendo cerrarse desde la cámara de vacío (13) con una cubierta interna (11), sirviendo además la cubierta interna (11) como soporte para el sustrato y pudiendo desplazarse dentro de la cámara de vacío (13) hasta dicha abertura de la cámara de proceso (8), en la que la o cada cubierta interna (11) se pone en una mesa (12) que está situada en la cámara de vacío, pudiendo desplazarse dicha mesa (12) con ayuda de un accionador, caracterizado porque el accionador se incluye en la cámara de vacío (13) de la antecámara de vacío (1), comprendiendo el accionador una serie de imanes (27) que están montados sobre la mesa (12) y al menos una bobina electromagnética (23, 24) montada sobre las paredes de la antecámara de vacío (1), estando conectada la bobina (23, 24) a una fuente de energía controlable para formar un campo magnético alterno para el propósito de desplazar la mesa (12).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: OTB GROUP B.V.

Nacionalidad solicitante: Países Bajos.

Dirección: LUCHTHAVENWEG 10,5657 EB.

Inventor/es: DINGS,FRANCISCUS,CORNELIUS, HOMPUS,MICHAEL,ADRIANUS,THEODORUS, KOK,RONALDUS,JOANNES,CORNELIS,MARIA, EVERS,MARINUS,FRANCISCUS,JOHANNES, HABRAKEN,ANTON.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 15 de Agosto de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/56 (Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco)
  • SECCION F — MECANICA; ILUMINACION; CALEFACCION;... > ELEMENTOS O CONJUNTOS DE TECNOLOGIA; MEDIDAS GENERALES... > VALVULAS; GRIFOS; COMPUERTAS; FLOTADORES PARA ACCIONAMIENTO;... > Medios de accionamiento; Dispositivos de retorno... > F16K31/06 (utilizando un imán)
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > PROCEDIMIENTOS O APARATOS FISICOS O QUIMICOS EN GENERAL > PROCEDIMIENTOS QUIMICOS O FISICOS, p. ej. CATALISIS,... > B01J3/00 (Procedimientos que utilizan una presión superior o inferior a la presión atmosférica para obtener modificaciones químicas o físicas de la materia; Aparatos a este efecto (aparatos para el compactado o calcinado de los polvos metálicos B22F 3/00; recipientes a presión en general F16J 12/00; recipientes a presión para contener o almacenar gases comprimidos, licuados o solidificados F17C; vasijas de presión para reactores nucleares G21C))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > IMANES; INDUCTANCIAS; TRANSFORMADORES; EMPLEO DE... > Imanes (imanes superconductores H01F 6/00) > H01F7/04 (Medios para liberar la fuerza atractiva)
  • SECCION F — MECANICA; ILUMINACION; CALEFACCION;... > ELEMENTOS O CONJUNTOS DE TECNOLOGIA; MEDIDAS GENERALES... > VALVULAS; GRIFOS; COMPUERTAS; FLOTADORES PARA ACCIONAMIENTO;... > Otros detalles no particulares a los tipos de válvulas... > F16K51/02 (especialmente concebidos para las instalaciones de vacío forzado)
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APARATO PARA REALIZAR AL MENOS UN PROCESO SOBRE UN SUSTRATO.