APARATO PARA PRODUCIR UN PLASMA INDUCTIVO EXTENSO PARA EL PROCESAMIENTO POR PLASMA.

EL APARATO (12) GENERA UN CAMPO MAGNETICO QUE VARIA CON EL TIEMPO, A TRAVES DE UNA VENTANA DE ADMISION DE CAMPO

(22) DE LA CAMARA DE PROCESO DE PLASMA (10), PARA CREAR O SOSTENER UN PLASMA DENTRO DE LA CAMARA POR ACOPLAMIENTO INDUCTIVO. COMPRENDE: - UN NUCLEO MAGNETICO (26; 260) QUE PRESENTA UNA ESTRUCTURA DE FRENTE DE POLO UNIPOLAR (26A; 260A) ADAPTADA PARA SER APLICADA CONTRA LA VENTANA O CERCA DE LA MISMA, Y QUE TIENE UNA ZONA DE EMISION DE CAMPO ACTIVA CUYO TAMAÑO Y FORMA COINCIDEN SUSTANCIALMENTE CON LA VENTANA DE ADMISION DE CAMPO, Y - UN MEDIO INDUCTOR (28) ASOCIADO AL NUCLEO MAGNETICO, PARA GENERAR UN CAMPO MAGNETICO, VARIABLE EN EL TIEMPO Y DISTRIBUIDO DE MANERA PRACTICAMENTE UNIFORME A TRAVES DE LA ESTRUCTURA DE LA CARA DEL POLO UNIPOLAR. EL APARATO PUEDE DISPONERSE COMO PARTE INTEGRANTE DE UNA CAMARA DE PROCESO POR PLASMA. LA INVENCION SE REFIERE IGUALMENTE A UNA CAMARA DE PROCESO POR PLASMA QUE TIENE MAS DE UNA VENTANA DE ADMISION DE CAMPO PARA COOPERAR, POR EJEMPLO, CON UN CORRESPONDIENTE APARATO GENERADOR DE CAMPOS MAGNETICOS QUE VARIA CON EL TIEMPO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: EUROPEAN COMMUNITY.

Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.

Dirección: EUFO BUILDING, RUE ALCIDE DE GASPERI,2920 LUXEMBOURG.

Inventor/es: COLPO, PASCAL, ROSSI, FRANCOIS, ERNST, ROLAND, DAVIET, JEAN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 2 de Abril de 2003.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/32 (Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B))
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APARATO PARA PRODUCIR UN PLASMA INDUCTIVO EXTENSO PARA EL PROCESAMIENTO POR PLASMA.