APARATO OBTURADOR SEPARABLE PARA UNA CAMARA DE PROCESAMIENTO DE SEMICONDUCTORES.

LA INVENCION SE REFIERE A UN APARATO OBTURADOR SEPARABLE PARA UN APARATO DE DEPOSITACION O GRABACION QUIMICA QUE INCLUYE UN MECANISMO OBTURADOR

(68, 70, 72) DISPUESTO EN EL INTERIOR DE UNA CAMARA DE PROCESAMIENTO (42) Y ADAPTADO PARA SOPORTAR UNA PLACA OBTURADORA (66) ENTRE UNA POSICION RETRAIDA Y UNA POSICION EXTENDIDA EN LA QUE ES ENGANCHADA POR UN DISPOSITIVO ELEVADOR (56, 57) Y MOVIDA A SU SITIO CERRANDO LA ABERTURA DE METALIZACION NORMAL (38) COMO SI FUERA UN SUBSTRATO (46) A SER PROCESADO. CUANDO UN NUEVO SUBSTRATO (46) ESTA PRESENTE PARA SU PROCESAMIENTO, EL MECANISMO ELEVADOR (56, 57) HARA DESCENDER LA PLACA DEL OBTURADOR (66) DE NUEVO SOBRE EL MECANISMO DE OBTURACION Y SERA LLEVADA HASTA SU POSICION RETRAIDA FUERA DEL CAMINO DE LA OPERACION DE PROCESAMIENTO Y MANEJO NORMAL. A CAUSA DE QUE LA PLACA DEL OBTURADOR (66) ES GEOMETRICAMENTE SIMILAR AL SUBSTRATO Y SE MANEJA POR EL MISMO DISPOSITIVO ELEVADOR (56, 57), EL MISMO MECANISMO DE OBTURACION ROBOTICA (53, 51) USADO PARA TRANSPORTAR SUBSTRATOS DENTRO Y FUERA DE LA CAMARA, PUEDE USARSE PARA SACAR DE FORMA PERIODICA Y REEMPLAZAR UNA PLACA OBTURADORA USADA (66) CON UNA NUEVA PLACA SIN DETENER EL SISTEMA. UNA IMPORTANTE VENTAJA DE LA PRESENTE INVENCION ES QUE EL OBTURADOR CIERRA, Y DE ESTA FORMA DEJA SIN LUZ, EXACTAMENTE LA MISMA APERTURA DE PROCESAMIENTO CERRADA POR EL SUBSTRATO DURANTE SU PROCESAMIENTO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA CALIFORNIA 95054-3.

Inventor/es: TEPMAN, AVI.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 29 de Noviembre de 1995.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/32 (Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B))
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/18 (Cierres estancos)
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