PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO DE REVESTIMIENTO POR PVD.
La invención se refiere a un procedimiento para revestir PVD y a un dispositivo con una cámara (1) para revestir PVD,
en el cual están dispuestos al menos un cátodo blanco (3), al menos un ánodo (2) y al menos un soporte de sustrato (9) que se destina para soportar al menos un sustrato (10), y con un dispositivo de control (4, 6, 7) que entrega una primera tensión con el fin de suministrar al cátodo blanco (3) un potencial eléctrico negativo con relación al ánodo (2) con el fin de formar un plasma (P) en el cual está dispuesto el sustrato (10) y el cual entrega una segunda tensión con el fin de suministrar al ánodo (2) un potencial eléctrico positivo con relación a la pared de la cámara (8). En este dispositivo de revestimiento por pulverización iónica, la fracción iónica del material blanco que puede conseguirse es demasiado baja para satisfacer cualitativamente las propiedades de revestimiento. Se aumenta, según la invención, porque el dispositivo de control (4, 6, 7) entrega una tercera tensión que suministra al sustrato (10) una tensión eléctrica que es más negativa que la tensión del ánodo (2).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CEMECON-CERAMIC METAL COATINGS-DR.-ING. ANTONIUS LEYENDECKER GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: ADENAUERSTRASSE 20B1,52146 WURSELEN.
Inventor/es: LEYENDECKER, ANTONIUS, FUSS, HANS-GERD, WENKE, RAINER, ERKENS, GEORG, ESSER, STEFAN, HERMELER, BERND.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 9 de Abril de 1998.
Fecha Concesión Europea: 25 de Septiembre de 2002.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/42 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización por medio de triodo (C23C 14/35 tiene prioridad).
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Portugal, Irlanda, Finlandia, Oficina Europea de Patentes.
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