11 inventos, patentes y modelos de HALUSKA, LOREN ANDREW
REVESTIMIENTO PARA DISPOSITIVOS MICROELECTRONICOS Y SUBSTRATOS.
Secciones de la CIP Química y metalurgia Electricidad
(16/03/1997). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B41/87, C04B41/89, H01L21/312, H01L21/48, H01L21/314.
LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A UN METODO PARA FORMAR UN REVESTIMIENTO CERAMICO O SIMILAR AL CERAMICO SOBRE UN SUBSTRATO ESPECIALMENTE SOBRE DISPOSITIVOS ELECTRONICOS, ASI COMO AL SUBSTRATO REVESTIDO POR EL MISMO. EL METODO COMPRENDE EL REVESTIMIENTO DE DICHO SUBSTRATO CON UNA SOLUCION QUE COMPRENDE UN SOLVENTE, RESINA DE SILSESQUIOXANO DE HIDROGENO Y UN PRECURSOR DE OXIDO CERAMICO MODIFICADOR SELECCIONADO ENTRE EL GRUPO QUE CONSTA DE PRECURSORES DE OXIDO DE TANTALIO, PRECURSORES DE OXIDO DE NIOBIO, PRECURSORES DE OXIDO DE BORO. EL SOLVENTE SE EVAPORA PARA DE ESTA MANERA DEPOSITAR UN RECUBRIMIENTO PRECERAMICO SOBRE EL SUBSTRATO. EL REVESTIMIENTO PRECERAMICO SE CERAMIFICA ENTONCES CALENTANDOLO HASTA UNA TEMPERATURA DE ENTRE 40 Y 1000 C. ESTE REVESTIMIENTO, ADEMAS PUEDE SER RECUBIERTO POR RECUBRIMIENTOS DE PASIVIDAD ADICIONAL Y PROTECTORES.
REVESTIMIENTOS HERMETICOS DE UN SUSTRATO EN UNA ATMOSFERA DE GAS INERTE.
(16/08/1996) LA INVENCION ACTUAL SE REFIERE A UN METODO PARA FORMAR UNA CAPA CERAMICA O TIPO CERAMICA EN UN SUSTRATO CON AUSENCIA DE OXIGENO. EL METODO COMPRENDE EL RECUBRIMIENTO DEL SUSTRATO CON UNA SOLUCION QUE COMPRENDE UN DISOLVENTE Y UNO O MAS MATERIALES PRECERAMICOS SELECCIONADOS ENTRE EL GRUPO QUE CONSTA DE SILSESQUIOXANO DE HIDROGENO E HIDROLIZADO O PARCIALMENTE HIDROLIZADO RXSI(OR)4-X DONDE R SE SELECCIONA INDEPENDIENTEMENTE DEL GRUPO QUE CONSTA DE ALCALI, ARIL Y DE HIDROCARBUROS NO SATURADOS Y X ES 0-2. EL DISOLVENTE SE EVAPORA Y ENTONCES SE DEPOSITA UNA CAPA PRECERAMICA EN EL SUSTRATO. ESTA CAPA SE CERAMIFICA CALENTANDO EL SUSTRATO RECUBIERTO A UNA TEMPERATURA QUE OSCILA ENTRE 500 A 1000 C, BAJO UNA ATMOSFERA DE GAS INERTE PARA PRODUCIR UNA CAPA CERAMICA O DE TIPO CERAMICA SOBRE EL SUSTRATO. EL PROCEDIMIENTO…
COPOLIMEROS DE PERHIDROSILOXANO Y SU USO COMO MATERIALES DE REVESTIMIENTO.
Sección de la CIP Química y metalurgia
(16/12/1994). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B41/50, C08L83/05, C09D183/05, C08G77/12.
LA INVENCION SE REFIERE A COPOLIMEROS DE PERHIDROSILOXANO SOLUBLE DE LA FORMULA [H SUB 2 SIO] SUB X Y EN EL QUE LAS FRACCIONES MOLARES X E Y TOTALIZAN 1. ADEMAS, LA INVENCION SE REFIERE AL USO DE ESOS NUEVOS COPOLIMEROS COMO MATERIALES DE REVESTIMIENTO, ESPECIALMENTE PARA SU USO SOBRE DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
CONVERSION DE PRECURSORES DE SILICE EN SILICE A BAJAS TEMPERATURAS.
Secciones de la CIP Electricidad Química y metalurgia
(16/02/1994). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: H01L21/316, C04B35/14, C04B35/64.
LA INVENCION SE REFIERE A UN METODO A BAJA TEMPERATURA PARA CONVERTIR LAS CAPAS DE PRECURSORES DE SILICE EN CAPAS DE SILICE CERAMICO. EL METODO COMPRENDE LA APLICACION DE UNA CAPA DE PRECURSOR DE SILICE A UN SUSTRATO, EXPONIENDOLA A UN MEDIO QUE COMPRENDE HIDROXIDO DE AMONIACO Y/O VAPORES DE AMONIACO HUMEDO Y SOMETIENDO LA CAPA A UNA TEMPERATURA SUFICIENTE PARA PRODUCIR LA CAPA DE CERAMICA. LOS METODOS DE LA INVENCION SE APLICAN PARTICULARMENTE A LAS CAPAS DE APLICACION EN LOS DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
UN METODO PARA PREPARAR UN POLIMERO PRECERAMICO.
Sección de la CIP Química y metalurgia
(01/04/1990). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B35/14.
UN METODO PARA PREPARAR UN POLIMERO PRECERAMICO. COMPRENDE HACER REACCIONAR EN ATMOSFERA INERTE, ESENCIALMENTE ANHIDRA, UN DISILANO O MEZCLA DE DISILANOS CONTENIENDO CLORO DE FORMULA (CLDRLSINH)X Y (II) (C6H5RLSINH)X A 22-280JC, ESTANDO SELECCIONADOS RK Y RL INDEPENDIENTEMENTE ENTRE HIDROGENO, VINILO, FENILO Y ALQUILO DE 1 A 3 ATOMOS DE CARBONO; SIENDO D F 0,5-3, E F 0-2,4 Y D B E F 3 Y X ES UN ENTERO DE 3 A 6. EL POLIMERO PRECERAMICO TIENE APLICACION EN LA OBTENCION DE MATERIALES CERAMICOS MEDIANTE PIROLISIS DE LOS MISMOS A UNA TEMPERATURA DE 750JC POR LO MENOS.
REVESTIMIENTOS CERAMICOS, PROCEDIMIENTO PARA SU PRODUCCION Y DISPOSITIVOS ELECTRONICOS ASI REVESTIDOS.
Sección de la CIP Química y metalurgia
(01/11/1989). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B41/89.
REVESTIMIENTOS CERAMICOS, PROCEDIMIENTO PARA SU PRODUCCION Y DISPOSITIVOS ELECTRONICOS ASI REVESTIDOS. ESTA INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS AL DILUIR EN UN DISOLVENTE UNA MEZCLA PRECERAMICA CATALIZADA POR PLATINO O RODIO DE UNA RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIXANO Y UN PRECURSOR DE OXIDO METALICO SELECCIONADO DEL GRUPO FORMADO POR UN ALCOXIDO DE ALUMINIO, UN ALCOXIDO DE TITANIO, Y UN ALCOXIDO DE ZIRCONIO. LA SOLUCION DISOLVENTE DE LA MEZCLA PRECERAMICA SE APLICA A UN SUSTRATO Y CERAMIFICA POR CALENTAMIENTO. SE PUEDEN APLICAR UNO O MAS REVESTIMIENTOS CERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO Y CARBONO, SILICIO Y NITROGEBNO, O SILICIO, CARBONO Y NITROGENO, SOBRE EL REVESTIMIENTO DE OXIDO METALICO/SIO2 CERAMIFICADO. SE PUEDE APLICAR UN REVESTIMIENTO SUPERIOR CVD O PECVD PARA UNA PROTECCION ADICIONAL. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
REVESTIMIENTOS CERAMICOS, METODO PARA SU PRODUCCION Y DISPOSITIVOS ELECTRONICOS ASI REVESTIDOS.
Sección de la CIP Química y metalurgia
(01/11/1989). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B41/89.
REVESTIMIENTOS CERAMICOS, METODO PARA SU PRODUCCION Y DISPOSITIVOS ELECTRONICOS ASI REVESTIDOS. ESTA INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS DILUYENDO EN UN DISOLVENTE UNA MEZCLA PRECERAMICA DE UNA RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIOXANO Y UN PRECURSOR DE OXIDO METALICO SELECCIONADO DEL GRUPO FORMADO POR UN ALCOXIDO DE ALUMINIO, UN ALCOXIDO DE TITANIO Y UN ALCOXIDO DE ZIRCONIO. LA SOLUCION DE LA MEZCLA PRECERAMICA EN EL DISOLVENTE SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE CERAMIFICA APLICANDO CALOR. SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2/OXIDO METALICO CERAMIFICADO, SE PUEDEN APLICAR UNO O MAS REVESTIMIENTOS CERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO Y CARBONO, SILICIO Y NITROGENO, O SILICIO, CARBONO Y NITROGENO. PARA CONSEGUIR UNA MEJOR PROTECCION, SE PUEDE APLICAR UN ULTIMO REVESTIMIENTO MEDIANTE CVD O PECVD. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
PROCEDIMIENTO PARA FORMAR SOBRE UN SUSTRATO UN REVESTIMIENTO DE CAPAS MULTIPLES DEL TIPO DE CERAMICA O PARECIDO.
Secciones de la CIP Química y metalurgia Electricidad
(01/03/1989). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: C04B41/50, H01L21/312, C04B41/52, C04B35/14, H01L21/314.
LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS MEDIANTE LA DILUCION EN UN DISOLVENTE DE UNA MEZCLA DE PRECERAMICA DE RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIOXANO CATALIZADA CON PLATINO O RODIO. LA SOLUCION EN DISOLVENTE DE LA MEZCLA DE PRECERAMICA SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE TRANSFORMA EN CERAMICA MEDIANTE CALENTAMIENTO. UNO O VARIOS REVESTIMIENTOS CERAMICOS CONTENIENDO SILICIO-CARBONO, SILICIO-NITROGENO, O SILICIO-CARBONO-NITROGENO PUEDEN APLICARSE SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2 TRANSFORMADO EN CERAMICA. UN REVESTIMIENTO SUPERIOR DE CVD O DE PECVD PUEDE SER APLICADO PARA OBTENER UNA PROTECCION SUPLEMENTARIA. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
UN METODO PARA FORMAR SOBRE UN SUSTRATO UN REVESTIMIENTO CERAMICO O SEMEJANTE A CERAMICO, EN MULTICAPA.
Secciones de la CIP Electricidad Química y metalurgia
(01/03/1989). Solicitante/s: S DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: H01L21/316, C23C28/00, H01L21/314.
ESTA INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS DILUYENDO EN UN DISOLVENTE UNA MEZCLA PRECERAMICA DE UN ESTER DE SILICATO PARCIALMENTE HIDROLIZADO Y UN PRECURSOR DE UN OXIDO METALICO ELEGIDO ENTRE UN ALCOXIDO DE ALUMINIO, UN ALCOXIDO DE TITANIO Y UN ALCOXIDO DE CIRCONIO. LA SOLUCION DE LA MEZCLA PRECERAMICA EN EL DISOLVENTE SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE CERAMIFICA POR APLICACION DE CALOR. SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2/OXIDO METALICO CERAMIFICADO, SE PUEDEN APLICAR UNO O MAS REVESTIMIENTOS QUE CONTIENEN SILICIO Y CARBONO, SILICIO Y NITROGENO O SILICIO, CARBONO Y NITROGENO. PARA UNA MEJOR PROTECCION, SE PUEDE APLICAR UN ULTIMO REVESTIMIENTO POR CVD O PECVD. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
UN METODO PARA FORMAR REVESTIMIENTOS QUE CONTIENEN SILICIO Y NITROGENO SOBRE UN DISPOSITIVO ELECTRONICO.
Sección de la CIP Electricidad
(01/03/1989). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORATION. Clasificación: H01L21/318.
ESTA INVENCION SE REFIERE A UN METODO PARA FORMAR A BAJAS TEMPERATURAS REVESTIMIENTOS CERAMICOS O SEMEJANTES A CERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO Y NITROGENO QUE SIRVEN PARA PROTEGER DISPOSITIVOS ELECTRONICOS. LOS REVESTIMIENTOS SON PRODUCIDOS MEDIANTE LA CERAMIFICACION A TEMPERATURAS MENORES O IGUALES QUE 400GC DE LOS REVESTIMIENTOS POLIMERICOS PRECERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO Y NITROGENO DEPOSITADOS A PARTIR DE UNA SOLUCION EN DISOLVENTE. LOS REVESTIMIENTOS SON UTILES PARA PLANARIZAR LA SUPERFICIE DE LOS DISPOSITIVOS ELECTRONICOS Y PARA PASIVARLA.
UN METODO PARA FORMAR SOBRE UN SUSTRATO UN REESTIMIENTO CERAMICO O SEMEJANTE A CERAMICO, EN MULTICAPA.
Secciones de la CIP Química y metalurgia Electricidad
(01/03/1989). Solicitante/s: DOW CORNING CORPORTATION. Clasificación: C04B41/50, H01L21/312, C04B41/52, C04B35/14, H01L21/314.
ESTA INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS DILUYENDO EN UN DISOLVENTE UNA SOLUCION EN DISOLVENTE DE RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIOXANO, QUE SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE CERAMIFICA POR ACCION DEL CALOR. SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2 CERAMIFICADO, SE PUEDE APLICAR UNO O MAS REVESTIMIENTOS CERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO-CARBONO, SILICIO-NITROGENO O SILICIO-CARBONO-NITROGENO. PARA UNA MEJOR PROTECCION, TAMBIEN PUEDE APLICARSE UNA ULTIMA CAPA CVD O PECVD. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA RECUBRIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.