UN PROCEDIMIENTO DE DESINTEGRACION CATODICA PARA DEPOSITAR UNA PELICULA SEMICONDUCTORA AMORFA SOBRE UN SUSTRATO.
APARATO DE PULVERIZACION CATODICO PARA DEPOSITAR PELICULAS SEMICONDUCTORAS COMPUESTAS AMORFAS.
CONSTA DE: UN RECIPIENTE DE VACIO (23) EQUIPADO CON UNA FUENTE DE IONES (25) SUMINISTRADA CON UN GAS DE PULVERIZACION CATODICA COMO ARGON Y CON UNA FUENTE DE IONES (27) SUMINISTRADA CON UN GAS PASIVANTE COMO HIDROGENO O HALOGENO, CUYOS HACES SE DIRIGEN HACIA UN SOLO OBJETO (29) DE PULVERIZACION CATODICA DE NATURALEZA CRISTALINO O POLICRISTALINO Y COMPUESTO DE ALEACION DE SILICIO Y GERMANIO; UN SUSTRATO (31) QUE RECOGE AL MATERIAL PULVERIZADO POR VIA CATODICA Y ESTA COMPUESTO DE VIDRIO, UN SEMICONDUCTOR O ACERO INOXIDABLE. SE UTILIZA EN EL SECTOR ELECTRONICO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: THE STANDARD OIL CO..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 200 PUBLIC SQUARE 7-A, CLEVELAND, OHIO 44114-2375.
Fecha de Solicitud: 26 de Abril de 1985.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 20 de Enero de 1986.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/00 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento.
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