Inventos patentados en España.

Inventos patentados en España.

Inventos patentados en España en los últimos 80 años. Clasificación Internacional de Patentes CIP 2013.

SISTEMA PARA PROCESAR UNA MUESTRA EN LITOGRAFIA POR INTERFERENCIA DE HACES LASER.

Patente de Invención. Resumen:

Sistema para procesar una muestra en litografía por interferencia de haces láser, según el cual sobre un plano espacial

(3) se sitúan un número "2n" de espejos para la incidencia sobre ellos de "2n" haces láser (1), siendo el plano espacial (3) paralelo a un plano (4) en el que se sitúa la muestra a procesar y el punto "P" de interferencia de los haces láser (1), que queda sobre las bisectrices de las parejas de haces láser (1), estando cada pareja de haces láser (1) en un plano normal al plano (4) de la muestra, la cual es susceptible de desplazarse y girar respecto de tres ejes cartesianos.

Solicitante: CENTRO DE ESTUDIOS E INVESTIGACIONES TECNICAS DE GUIPUZCOA (CEITG).

Nacionalidad solicitante: España.

Provincia: GUIPÚZCOA.

Inventor/es: AYERDI OLAIZOLA,ISABEL, OLAIZOLA IZQUIERDO,SANTIAGO MIGUEL, ELLMAN NEVADO,MIGUEL, PEREZ HERNANDEZ,NOEMI.

Fecha de Solicitud: 16 de Diciembre de 2008.

Fecha de Publicación de la Concesión: 3 de Octubre de 2011.

Fecha de Concesión: 21 de Septiembre de 2011.

Clasificación Internacional de Patentes: G03F7/20T18.

Clasificación PCT: G03F7/20 (.Exposición; Aparellaje a este efecto (dispositivos de reproducción fotográfica de copias G 03 B 27/00) [4]).

Acceder al texto completo de la patente.

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