SISTEMA DE ALINEAMIENTO DE OBLEAS Y DE LECTURA DE MICROCODIGOS DE BARRAS Y DE MARCAS EN CHIPS CON LASER.

Resumen: Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser.
La invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación.
Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip.

Solicitante: CONSEJO SUP. INVESTIGACIONES CIENTIFICAS

Nacionalidad: ES

Provincia: MADRID

Inventor/es: LOZANO FANTOBA,MANUEL. PERELLO GARCIA,CARLES. ENRICH SARD,XAVIER. SANTANDER VALLEJO,JOAQUIN

Fecha de Solicitud: 16/05/2002

Fecha de Publicación de la Concesión: 16/03/2005

Fecha de Concesión: 14/02/2005

Clasificación Principal: G01R31/26, H01L21/68