PROCEDIMIENTO Y APARATO DE PULIDO OPTICO.

Resumen: Un procedimiento de pulido óptico de una superficie de una pieza de trabajo, comprendiendo el procedimiento: colocar una herramienta (22) que tiene una superficie de trabajo flexible (7, 21) sustancialmente menor que la superficie de dicha pieza de trabajo en relación con dicha superficie de dicha pieza de trabajo de manera que existe un área de contacto entre dicha superficie de trabajo flexible y dicha superficie de dicha pieza de trabajo; y que se caracteriza porque dicha herramienta comprende un soporte rígido (22) que forma una cámara de fluido, y dicha superficie de trabajo flexible (21) comprende un diafragma soportado por dicho soporte rígido y expuesto a presión en dicha cámara de fluido, incluyendo el procedimiento: control de la posición de dicha herramienta (22) con respecto a dicha pieza de trabajo de modo que controle el tamaño de dicha área de contacto; y control de la presión en la cámara de fluido para controlar la presión aplicada a dicha superficie de dicha pieza de trabajo sobre dicha área de contacto.

Solicitante: OPTICAL INVESTMENTS LIMITED

Nacionalidad: GB

Inventor/es: WALKER, DAVID DOUGLAS. BINGHAM, RICHARD GEORGE. KIM, SUG-WHAN. PUTTICK, KEITH ERNEST

Fecha de Publicación de la Concesión: 16/05/2006

Fecha Concesión Europea: 02/11/2005

Clasificación Principal: B24B41/04, B24D13/14, B24B13/015