METODO Y DISPOSITIVO PARA LA INSPECCION OPTICA DE OBJETOS SITUADOS SOBRE UN SUSTRATO.

Resumen: Un método para inspección sin contacto de objetos (2) situados sobre un sustrato (4), por medio de un dispositivo (1) de inspección durante el movimiento relativo entre el sustrato (4) y el dispositivo (1) de inspección, que comprende las etapas de:
- generar una primera imagen que comprende información de altura de objeto mediante la iluminación de al menos una parte del sustrato que comprende uno o más objetos (2) por medio de unos primeros medios (3) de radiación y formar la imagen de al menos uno de dichos uno o más objetos (2) iluminados por dichos primeros medios (3) de radiación sobre unos medios de detector (23) de matriz bidimensional que tienen una matriz accesible por partes de elementos de píxel (36);
- extraer la información de altura de objeto, por medio de dichos medios de detector, de dicha primera imagen;
- generar una segunda imagen que comprende información de área del objeto mediante la iluminación de al menos una parte del sustrato (4) que comprende uno o más objetos (2) por medio de unos segundos medios de radiación y formar una imagen de al menos uno de dichos uno o más objetos iluminados por dichos segundos medios (5) de radiación sobre dichos medios de detector.

Solicitante: MYDATA AUTOMATION AB

Nacionalidad: SE

Inventor/es: BOSTRIM, GUNNAR. JOHANNESSON, MATTIAS. SANDGREN, SIMON. AHLEN, HANS

Fecha de Publicación de la Concesión: 01/03/2006

Fecha Solicitud PCT: 14/12/1999

Fecha Concesión Europea: 10/08/2005

Clasificación Principal: G01N21/89, G01B11/04

Países PCT: AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LI, LU, IE, FI, CY, EPO, AM, AZ, BY, GH, GM, KE, KG, KZ, LS, MD, MW, RU, SD, SL, TJ, TM, TZ, UG, ZW, BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG, ARIPO, SZ, GW, OAPI, EAPO