METODO Y APARATO PARA EL CORTE DE UN SUBSTRATO COMPUESTO POR UTILIZACION DE UN FLUIDO.

Resumen: PARA SEPARAR UN MIEMBRO COMPUESTO, QUE CONSTA DE UNA PLURALIDAD DE MIEMBROS UNIDOS (1 Y 2), SIN DESTRUIRLO NI DAÑARLO, UN FLUIDO (7) ES PROYECTADO A CHORRO CONTRA EL MIEMBRO COMPUESTO DESDE UNA BOQUILLA (8) PARA SEPARARLO EN UNA PLURALIDAD DE MIEMBROS (11 Y 12) EN UNA POSICION (3) DIFERENTE DE LA POSICION DE UNION (14).

Solicitante: CANON KABUSHIKI KAISHA

Nacionalidad: JP

Inventor/es: OHMI, KAZUAKI. YONEHARA, TAKAO. SAKAGUCHI, KIYOFUMI. YANAGITA, KAZUTAKA

Fecha de Publicación de la Concesión: 01/03/2003

Fecha Concesión Europea: 11/09/2002

Clasificación Principal: H01L21/00, B26F3/00, H01L21/20, B26D5/12