METODO Y APARATO PARA EL CONTROL DE PRESION EN PROCESADORES A VACIO.

Resumen: Un método para controlar la presión en una cámara de procesado que ha sido sometida a evacuación (106), que comprende los pasos de: recuperar de la memoria electrónica (190) un valor deseado de la presión que refleje un nivel de presión deseado para la cámara de procesado; recuperar de la memoria electrónica un valor deseado del flujo de gas que represente un caudal de gas deseado a través de la cámara de procesado; situar en posición una válvula de estrangulación (124) en una posición inicial, la válvula de estrangulación usada para controlar la presión en la cámara de procesado; medir la presión dentro de la cámara de procesado; calcular una diferencia entre la presión deseada y la presión medida; y a continuación de dicho paso de colocar en posición, modificar la posición de la válvula de estrangulación al menos una vez sobre la base de la diferencia entre la presión deseada y la presión medida caracterizado porque: dicha modificación de la posición se efectúa usando control proporcional y control integral, siendo retardado el control integral en lo correspondiente a un período de tiempo predeterminado.

Solicitante: LAM RESEARCH CORPORATION

Nacionalidad: US

Inventor/es: BARNES, MICHAEL. MCMILLIN, BRIAN, K.. KAVEH, FARRO, F

Fecha de Publicación de la Concesión: 01/01/2004

Fecha Solicitud PCT: 30/03/1999

Fecha Concesión Europea: 14/05/2003

Clasificación Principal: G05D16/20

Países PCT: AT, BE, CH, DE, ES, FR, GB, IT, LI, NL, SE, IE, FI, EPO