DISPOSITIVOS DE IMPLANTACION IONICO.

SE PROPORCIONA UN DISPOSITIVO (10) PERFECCIONADO, DE IMPLANTACION DE IONES,

QUE TIENE INTERFAZ PROGRAMABLE Y GRAFICO DEL USUARIO. EL DISPOSITIVO DE IMPLANTACION PUEDE TENER ACCESO DESDE UN ORDENADOR REMOTO (38) TAL COMO UN ORDENADOR PERSONAL PC/XT/AT COMPATIBLE CON IBM PARA QUE PUEDA TENER ACCESO UN OPERADOR, Y CONTROLAR Y MONITORIZAR EL DISPOSITIVO DE IMPLANTACION DESDE UNA POSICION REMOTA. SE PUEDEN CAMBIAR O MODIFICAR VARIAS SEÑALES DE CONTROL ASOCIADAS CON LA OPERACION DE INJERTO, DE CONFORMIDAD CON LOS PARAMETROS DE IMPLANTACION ALMACENADOS EN EL ORDENADOR. CADA VEZ QUE SE HAYA DE PROCESAR UN LOTE DE OBLEAS (MONOCRISTAL SEMICONDUCTOR USADO COMO SUSTRATO EN LA PRODUCCION DE CIRCUITOS INTEGRADOS), LOS PARAMETROS DE INJERTO PUEDEN RETIRARSE RAPIDAMENTE DEL ORDENADOR Y LEERSE AL DISPOSITIVO DE IMPLANTACION, CON MINIMO ERROR POR PARTE DEL OPERADOR. ASIMISMO, SE PUEDEN ESCRIBIR VARIOS PARAMETROS DE INJERTO Y/O AJUSTES DE INJERTO AL ORDENADOR, Y ALMACENARSE DENTRO DE LA MEMORIA DEL MISMO. EL ORDENADOR PUEDE INTERCONECTARSE O AJUSTARSE RETROACTIVAMENTE CON FACILIDAD A LOS DISPOSITIVOS EXISTENTES DE INJERTO, TAN SOLO CON UNA CANTIDAD MINIMA DEL CODIGO DEL SOFTWARE NECESARIO Y DEL HARDWARE ASOCIADO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: ADVANCED MICRO DEVICES INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 901 THOMPSON PLACE P.O. BOX 3453,SUNNYVALE, CA 94088-3453.

Inventor/es: LE, VAN.

Fecha de Publicación: 16 de Diciembre de 1998.

Fecha Concesión Europea: 30 de Septiembre de 1998.

Clasificación Internacional de Patentes:

H01J37/317 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).

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