ACELEROMETRO OPTICO INTEGRADO.

Resumen: Acelerómetro óptico integrado.
La presente invención se basa en un acelerómetro óptico de silicio con guías de onda integradas en el mismo dado pero con la novedad de que las guías de onda sólo están definidas en las zonas rígidas del acelerómetro evitando así los efectos negativos a nivel de esfuerzos mecánicos que pueden hacer estas guías sobre las estructuras móviles. El dispositivo propuesto consta de una masa inercial de silicio sujeta por cuatro puentes y con una guía de onda centrada, de tal manera que se evitan las aceleraciones cruzadas. El principio de funcionamiento del acelerómetro se basa en el desalineaminento de guías de onda enfrentadas. Desde el punto de vista tecnológico se pueden utilizar obleas BESOI (Bond and Etch Back Silicon On Insulator) para facilitar la fabricación y permitir un mayor control sobre las estructuras y por tanto sobre las prestaciones de los dispositivos.

Solicitante: CONSEJO SUP. INVESTIG. CIENTIFICAS
IKERLAN

Nacionalidad: ES

Provincia: MADRID

Inventor/es: PLAZA PLAZA,JOSE ANTONIO. LLOBERA ADAN,ANDREU. ESTEVE I TINTO,JAUME. DOMINGUEZ HORNA,CARLOS. BERGANZO,JAVIER. GARCIA,JORGE

Fecha de Solicitud: 11/04/2002

Fecha de Publicación de la Concesión: 16/03/2006

Fecha de Concesión: 01/02/2006

Clasificación Principal: G01P15/08

Clasificación PCT: G01P15/08