14 patentes, modelos y diseños de BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT

  1. 1.-

    MONTAJE PARA EL REVESTIMIENTO DE SUSTRATOS UTILIZANDO UN DISPOSITIVO DE PULVERIZACION

    (08/2009)
    Ver ilustración. Inventor/es: TESCHNER, GOTZ, DIPL.-ING., MARQUARDT,DIETMAR, BRUCH,JURGEN,DIPL.-ING, SZCZYRBOWSKI,JOACHIM,DR. DIPL.-PHYS, ZMELTY,ANTON,DIPL.-ING. Clasificación: C23C16/34, C23C14/00, H01J37/34.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO DE PULVERIZACION PARA RECUBRIMIENTO REACTIVO DE SUBSTRATOS, DONDE LA POTENCIA ELECTRICA GUIADA AL ELECTRODO DE PULVERIZACION OSCILA ENTRE DOS VALORES. AMBOS VALORES DE POTENCIA SON ELEGIDOS DE TAL MODO, QUE EN LA MISMA AFLUENCIA DE GAS REACTIVO EL OBJETIVO DEL ELECTRODO DE PULVERIZACION SE ENCUENTRA EN EL PRIMER VALOR DE POTENCIA EN UN MODO METALICO, MIENTRAS QUE EN EL SEGUNDO VALOR DE POTENCIA SE ENCUENTRA EN MODO DE OXIDO.

  2. 2.-

    LAMINA DE MATERIAL TRANSPARENTE, ASI COMO PROCEDIMIENTO PARA SU FABRICACION.

    (08/1999)

    DISCO U HOJA HECHO DE UN MATERIAL TRANSPARENTE CON ELEVADO COMPORTAMIENTO DE TRANSMISION EN LA ZONA VISIBLE Y ALTO COMPORTAMIENTO DE REFLEXION EN LA ZONA DE RADIACION DE CALOR, SE COLOCA ENCIMA UNA CAPA DE BAJA EMISION HECHA DE CAPAS SOLDADAS, QUE COMPRENDE CINCO CAPAS. LA PRIMERA CAPA COLOCADA SOBRE EL SUSTRATO ESTA HECHA DE UN OXIDO METALICO, P. E. ZNO, SNO{SUB,2}, Y LA SEGUNDA CAPA DE UN SUBOXIDO METALICO, P. E. ZN Y/O TA, Y LA TERCERA CAPA DE UN METAL, P. E. AG, CU, Y LA CUARTA CAPA DE UN METAL, P. E. TI, CR, NB O UN SUBOXIDO METALICO, Y LA QUINTA CAPA DE UNA COMPOSICION SIMILAR A LA DE LA PRIMERA CAPA. LAS DIFERENTES CAPAS SE COLOCAN...

  3. 3.-

    CATODO PARA PROCESO DE REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO.

    (04/1999)

    EN UN CATODO PARA REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO , QUE SE ENCUENTRA CONEXIONADO CON UNA FUENTE (FUENTE DE ALTA FRECUENCIA), DE CORRIENTE ALTERNA O DE CORRIENTE CONTINUA Y DISPUESTA EN UNA CAMARA DE RECUBRIMIENTO EVACUABLE Y ENCONTRANDOSE EN UNION ELECTRICA CON UN OBJETIVO QUE ES PULVERIZADO Y CON ELLO LAS PARTICULAR DE PULVERIZACION SE DEPOSITAN SOBRE EL SUBSTRATO , DONDE ES POSIBLE LA INTRODUCCION DE UN GAS DE PROCESO EN LA CAMARA DE RECUBRIMIENTO Y EL CATODO ESTA CONFORMADO CON UNA CARCASA EN FORMA ESENCIALMENTE DE OLLA, CUYA PARTE DE FONDO SE ENCUENTRA CERRADA CON EL OBJETIVO Y UNIDA DE FORMA FIJA Y DIRIGIDA HACIA...

  4. 4.-

    DISPOSITIVO PARA EVACUACION RAPIDA DE UNA CAMARA DE VACIO

    (01/1999)
    Inventor/es: GEBELE, THOMAS, BUSCHBECK, WOLFGANG. Clasificación: F04C29/10, F04B49/00, F04B37/14.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA EVACUACION RAPIDA DE UNA CAMARA DE VACIO, COMPUESTA DE UNA PRIMERA BOMBA DE VACIO, CON PREFERENCIA UNA BOMBA DE EMBOLO CILINDRICO, DE UNA CONDUCCION DE ASPIRACION QUE SE UNE EN EL LADO DE ASPIRACION CON LA PRIMERA BOMBA CON LA CAMARA DE VACIO, CON UNA SEGUNDA BOMBA DE VACIO CONECTADA EN LA PRIMERA VALVULA DE BLOQUEO, A PARTIR DE UNA PRIMERA BOMBA A TRAVES DE UNA CONDUCCION DE UNION Y DE UNA TRAMPILLA DE SOPLADO CONECTADA EN LA CONDUCCION DE UNION, DONDE SE HA PREVISTO UNA SEGUNDA VALVULA DE BLOQUEO CONECTADA EN EL LADO DE ASPIRACION DE LA SEGUNDA BOMBA , EN CONEXION INTERMEDIA, DISPONIENDOSE DE UNA CONDUCCION SECUNDARIA QUE DESEMBOCA EN LA CAMARA DE VACIO Y UNA CONDUCCION DE UNION CONECTADA CON UNA TERCERA VALVULA DE BLOQUEO.

  5. 5.-

    DISPOSICION DE CATODO EN UN DISPOSITIVO PARA PULVERIZACION DE UN OBJETIVO

    (01/1999)

    EN UNA DISPOSICION DE CATODO EN UN DISPOSITIVO PARA PULVERIZACION DE UN OBJETIVO (49 O 50) CON UN YUGO MAGNETICO Y CON HILERAS DE IMANES (33,34,53,54 O 35,36,55,56) PERMANENTES DISPUESTOS ENTRE EL OBJETIVO Y EL YUGO MAGNETICO ASI COMO CON UN SOPORTE (A O B) PARA SUJECION DEL YUGO (22 O 23) MAGNETICO EN UNA PARTE DE PARED DE LA CAMARA DE VACIO, EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO SOPORTADO DE FORMA FIJA SE APOYA SOBRE SU LADO CON RESPECTO AL OBJETIVO (49 O 50) EN UNA LEVA O UN PAR (43,44 O 43',44') DE LEVAS POR MOTIVOS DE SUJECION CONJUNTA DE LAS PARTES INDIVIDUALES DEL CATODO (3 O 4). LAS LEVAS O EL PAR DE LEVAS SE APOYAN POR SU LADO EN UNA PLACA (41 O 42) CABEZAL, QUE ESTA...

  6. 6.-

    INSTALACION DE RECUBRIMIENTO DE VACIO

    (10/1998)

    EN UNA INSTALACION DE RECUBRIMIENTO DE VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE SUBSTRATO (3,3',...), CON UNA CAMARA DE ENTRADA, AL MENOS UNA OTRA CAMARA PARA EL TRATAMIENTO DEL SUBSTRATO (3,3',...) Y CON UNA CAMARA DE SALIDA ASI COMO CON UN EQUIPO DE TRANSPORTE DISPUESTO EN UNA CAMARA DE TRANSPORTE EVACUABLE PARA EL TRANSPORTE DEL SUBSTRATO (3,3',...) A TRAVES DE LAS CAMARAS , SE HA PREVISTO UN EQUIPO DE TRANSPORTE, QUE ESTA DISPUESTO ALREDEDOR DE UN EJE CONJUNTO, Y MUESTRA SOPORTES OSCILABLES ALREDEDOR DE ESTE EJE. EN AL MENOS DOS POSICIONES, ES DECIR EN UNA POSICION DE ENTRADA Y SALIDA Y EN UNA...

  7. 7.-

    PROCESO Y DISPOSITIVO PARA EL RECUBRIMIENTO DE UN SUBSTRATO, EN PARTICULAR CON CAPAS NO CONDUCTORAS ELECTRICAS.

    (03/1997)
    Inventor/es: SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., BEISSWENGER, SIEGFRIED, TESCHNER, GOTZ, DIPL.-ING. Clasificación: C23C14/35.

    EN UN PROCESO Y UN DISPOSITIVO PARA EL RECUBRIMIENTO DE UN SUBSTRATO CON CAPAS NO CONDUCTORAS ELECTRICAMENTE DE UN OBJETIVO CAPAZ DE CONDUCCION ELECTRICA EN ATMOSFERA REACTIVA (POR EJEMPLO OXIDANTE), CON UN CATODO DISPUESTO EN UNA CAMARA DE RECUBRIMIENTO EVACUABLE, QUE ACTUA CONJUNTAMENTE DE FORMA ELECTRICA CON EL OBJETIVO , EL CATODO ESTA CONECTADO POR MOTIVOS DE UNA DEPRESION DEL ARCO EN UNA FUENTE DE CORRIENTE DC Y EQUIPADO CON LA AYUDA DE UN CIRCUITO (22 O 3 HASTA 15) ADICIONALMENTE ADAPTADO DE FORMA PERIODICA PARA TENSION DE TIEMPO CORTO APLICABLE SOBRE UN POTENCIAL POSITIVO, CON LO QUE LA FRECUENCIA DE ESTA INVERSION DE POLOS PERIODICA QUE DEPENDE DE LA CAPA DE SEPARACION ES AJUSTABLE.

  8. 8.-

    CAPA DURA ANTIRREFLEJOS PARA LENTES DE PLASTICO.

    (01/1997)
    Inventor/es: ZOLLER, ALFONS, DIPL.-ING. , MATL, KARL, DR. RER. NAT., GOTZELMANN, RAINER, DIPL.-PHYS., SAUER, GUNTHER. Clasificación: C23C14/08, G02B1/10, C23C14/54.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN REVESTIMIENTO RESISTENTE AL RAYADO PARA MATERIALES OPTICOS DE PLASTICO, ASI COMO A UN METODO PARA LA FABRICACION DE ESTE REVESTIMIENTO. PARA QUE EL MATERIAL PLASTICO, POR EJEMPLO, UNA LENTE CR39, ESTE PROTEGIDO CONTRA ARAÑAZOS, PRIMERAMENTE SE APLICA UNA CAPA DE ADHERENCIA MUY DELGADA DE SIO, QUE A CONTINUACION SE PROVEE CON UNA CAPA GRUESA DE SIO2. LAS DOS CAPAS SE APLICAN EN UNA CAMARA DE VACIO QUE CONTIENE UN EVAPORADOR Y UNA FUENTE DE PLASMA.

  9. 9.-

    DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO

    (01/1997)
    Inventor/es: STURMER, JOHANN, LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR., THORN, GERNOT, DIPL.-ING. Clasificación: H01J37/34.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO. ESTE DISPOSITIVO CONTIENE UN GENERADOR DE IMPULSOS , EL CUAL LLEVA EL CATODO DE LA INSTALACION DE PULVERIZACION A INTERVALOS PREFIJADOS A POTENCIAL POSITIVO, POR LO CUAL TIENE LUGAR UNA DESCARGA DE CAPAS SOBRE UN BLANCO . ESTA DESCARGA IMPIDE LA FORMACION DE TENSIONES ELEVADAS QUE PUEDEN CONDUCIR A UNA DESCARGA.

  10. 10.-

    PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA FABRICACION DE CAPAS SOBRE SUPERFICIES DE MATERIALES.

    (10/1996)
    Inventor/es: JUNG, MICHAEL, GEISLER, MICHAEL, KOTTER-FAULHABER, RUDOLF, WUERZ, SUSANNE. Clasificación: C23C16/02, F21V7/22, C23C16/50, C23C16/30.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO Y A UN DISPOSITIVO PARA LA FABRICACION DE CAPAS SOBRE LAS SUPERFICIES DE MATERIALES, EN PARTICULAR DE PIEZAS FORMADAS DE MATERIAL SINTETICO, CON UNA CAPA DE METAL Y OTRA CAPA MAS COMO MINIMO QUE CONTENGA C Y/O O, Y/O SI, EN UNA CAMARA DE VACIO QUE SE ACCIONE COMO UNA INSTALACION CONTINUA O COMO UNA INSTALACION BATCH , SEGUN EL PROCEDIMIENTO DE RECUBRIMIENTO CON CAPAS-PCVD. SOBRE LA SUPERFICIE DE SUBSTRATO SE APLICA, CON ESTE PROCEDIMIENTO, PRIMERO UNA CAPA PREVIA, ES DECIR, UNA CAPA INTERMEDIA , DESPUES LA CAPA DE METAL , Y A CONTINUACION UNA CAPA PROTECTORA BAJO PLASMA AL COMPRIMIR POR DEBAJO DE 5 X 10 ELEVADO -2 MBAR. CON ESTE RECUBRIMIENTO A CAPAS CON TECNICA DE PROCESO EN VACIO, POR EJEMPLO EN SOPORTES DE DATOS ELECTROTECNICOS O EN ESPEJOS DE CARA DELANTERA DE ALUMINIO, SE OBTIENE UNA SUPERFICIE IMPECALBE RESISTENTE AL LAVADO Y AL FREGADO.

  11. 11.-

    CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO.

    (05/1996)

    EN UN CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO , EL CUAL ESTA CONECTADO A UNA FUENTE DE CORRIENTE CONTINUA Y/O CORRIENTE ALTERNA (ALTA FRECUENCIA), Y ESTA DISPUESTO EN UNA CAMARA DE REVESTIMIENTO EVACUABLE, Y EN CONTACTO ELECTRICO CON UN TARGET , Y QUE EL CATODO ESTA FORMADO ESENCIALMENTE DE UNA CARCASA EN FORMA DE OLLA, CUYO FONDO CERRADO CON SU SUPERFICIE EXTERIOR ESTA UNIDA RIGIDAMENTE CON EL TARGET , Y EL EXTREMO ABIERTO ORIENTADO HACIA EL TARGET , ESTA FIJADO DE FORMA HERMETICA EN UNA ABERTURA EN LA PARED EXTERIOR DE LA CAMARA DE REVESTIMIENTO DE TAL MODO QUE, EL RECINTO INTERIOR DE LA CARCASA ESTA SIEMPRE SOMETIDO A LA PRESION ATMOSFERICA, MIENTRAS QUE EL TARGET Y LA SUPERFICIE EXTERIOR...

  12. 12.-

    BOMBA DE VACIO HERMETICA PARA ACEITES.

    (03/1996)
    Inventor/es: ABELEN, THOMAS, HODAPP, JOSEF, KAISER, WINFRIED, SZOCS, ZOLTAN. Clasificación: F04C29/10, F04C29/02.

    LA INVENCION SE REFIERE A UN METODO DE FUNCIONAMIENTO DE UNA BOMBA DE VACIO CON SELLADO DE ACEITE CON UNA TOBERA DE SALIDA PROVISTA CON UNA VALVULA DE RETORNO, UN CONDUCTO DE ALIMENTACION DE ACEITE QUE DISPONE DE UNA VALVULA Y TIENE SU SALIDA EN LA CAMARA DE ASPIRACION DE LA BOMBA, UN MOTOR DE ACCIONAMIENTO ELECTRICO PARA EL ROTOR CON BOBINAS (15 Y 20) Y UN CONDENSADOR . LA VALVULA EN EL CONDUCTO DE ALIMENTACION DE ACEITE ESTA CERRADA CUANDO LA BOMBA ESTA CONECTADA EN EL CASO DE CORTE DE POTENCIA. PARA ASEGURAR QUE SE MANTIENE INCLUSO CUANDO SUCEDE UN FALLO MECANICO, SE PROPONE QUE LA VALVULA EN EL CONDUCTO DE ALIMENTACION DE ACEITE DEBA SER CONTROLADA MEDIANTE LA VELOCIDAD ROTACIONAL DEL ROTOR Y DEL MOTOR DE ACCIONAMIENTO, DE FORMA QUE PERMANEZCA ABIERTA EN LA VELOCIDAD DE OPERACION NORMAL Y QUE SE CIERRE CUANDO SE REDUCE LA VELOCIDAD; LA BOBINA AUXILIAR DEL MOTOR PUEDE SERVIR COMO SENSOR.

  13. 13.-

    PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUBSTRATO, ESPECIALMENTE CON CAPAS NO CONDUCTORAS ELECTRICAS.

    (02/1996)

    EN UN PROCEDIMIENTO Y EN UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUBSTRATO DE OBJETOS ELECTRICAMENTE CONDUCTORES EN ATMOSFERA REACTIVA, HAY PREVISTA UNA FUENTE DE CORRIENTE QUE ESTA UNIDA CON UN CATODO DISPUESTO EN UNA CAMARA DE RECUBRIMIENTO EVACUABLE, Y ACTUAN CONJUNTAMENTE DE FORMA ELECTRICA CON LOS OBJETOS , EN DONDE HAY PREVISTOS DOS ANODOS SEPARADOS DE LA CAMARA Y ELECTRICAMENTE ENTRE SI, QUE ESTAN EN UN PLANO ENTRE DOS CATODOS Y EL SUBSTRATO , EN DONDE LAS DOS SALIDAS (12A, 12B) DEL BOBINADO SECUNDARIO DE UN TRANSFORMADOR UNIDO, BAJO INTERCONEXION DE UNA BOBINA DE REACTANCIA , CON UN GENERADOR...

  14. 14.-

    PROCEDIMIENTO PARA LA OBTENCION DE PIEZAS DE VIDRIO CON ALTO COMPORTAMIENTO A LA TRANSMISION EN EL MARGEN ESPECTRAL VISIBLE Y CON UN ALTO COMPORTAMIENTO A LA REFLEXION DE LAS RADIACIONES TERMICAS, ASI COMO VIDRIOS OBTENIDOS POR MEDIO DEL PROCEDIMIENTO.

    (01/1996)

    PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE PIEZAS DE VIDRIO CON ALTO COMPORTAMIENTO A LA TRANSMISION EN EL MARGEN ESPECTRAL VISIBLE Y CON UN ALTO COMPORTAMIENTO A LA REFLEXION DE LAS RADIACIONES TERMICAS. LOS VIDRIOS SON RECUBIERTOS POR PULVERIZACION CATODICA. SOBRE EL SUBSTRATO S SE EXTIENDE UNA PRIMERA CAPA 1 DE UN MATERIAL DEL GRUPO OXIDO ZNO, SNO2, IN2O3, TIO2, ZRO2, TA2O5, SIO2, AL3O3 O SUS MEZCLAS, O DE UNO DE LOS NITRUROS, ALN, SI3N4, O SUS MEZCLAS, O DE NITRURO DE ALUMINIO, DE TITANIO, DE CIRCONIO O DE SILICIO, O SUS MEZCLAS, CON UN GROSOR DE 20 A 60 NM. SIGUE UNA SEGUNDA CAPA 2 DE UNO DE LOS METALES AG, CU O SUS MEZCLAS...