Método para producir recubrimientos de DFV.
Método para depositar un recubrimiento de óxido, nitruro o carburo metálico cristalino o mezclas de los mismos,
caracterizado porque se acciona una descarga de pulverización magnetrónica con impulsos de alta potencia, HIPIMS, sobre una o más dianas mantenidas en estado metálico, en una mezcla de argón y un gas reactivo, a una potencia de pulso de pico de al menos 320 Wcm-2, una longitud de pulso de hasta 100 μs y una frecuencia de repetición de 100 Hz,
en el que
- la una o más dianas de la misma composición metálica son de Al, con lo que el recubrimiento depositado comprende una fase cristalina de alúmina, más específicamente gamma- o alfa-alúmina, depositada a un grosor de preferiblemente 0,1-30 μm,
o,
- la una o más dianas son de la misma composición metálica que es una aleación de AlMe, donde Me es uno o más de los metales del grupo de Mg, Zn, Mn, Fe, Co, Ni, Zr, Cd, Cu, Cr y Sn y la mezcla gaseosa en la cámara de vacío es una mezcla de Ar y gas oxígeno (O2), con lo que el recubrimiento depositado comprende un óxido bifásico o un óxido mixto de tipo (Al1-xMex)2O3 o espinela (Me)xAl2O3+x (0
o,
- se usan dos o más dianas que tienen composiciones metálicas diferentes entre sí y una mezcla gaseosa de Ar y gas oxígeno (O2), con lo que se deposita una multicapa de óxido mixto de tipo (Al1-xMex)2O3, o espinela (Me)xAI2O3+x (0
o,
- se recubren herramientas de corte de tipos adecuadas, proporcionadas como sustratos, en una cámara de vació (1) con un óxido, nitruro, carburo metálico o mezclas de los mismos usando una mezcla gaseosa reactiva que comprende oxígeno nitrógeno y/o gases que contienen carbono, siendo la una o más dianas de la misma composición metálica que es una aleación de AlMe, donde Me es uno o más de los metales del grupo de Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta y W, y la deposición se inicia en gas pulverizador de Ar puro o empieza junto con, o después de, la introducción del gas reactivo a través de la segunda válvula o controlador de flujo másico (6),
o,
- dos o más dianas tienen una composición metálica diferente entre sí, con lo que se obtienen recubrimientos de AlMe mixtos o multicapa de óxido, nitruro, carburo o mezclas de los mismos, donde Me es uno o más de los metales del grupo de Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta y W.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2008/056528.
Solicitante: SANDVIK INTELLECTUAL PROPERTY AB.
Nacionalidad solicitante: Suecia.
Dirección: 811 81 SANDVIKEN SUECIA.
Inventor/es: WALLIN,ERIK, HELMERSSON,ULF.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/08 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
PDF original: ES-2705198_T3.pdf
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